【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种炉体冷却系统
技术介绍
目前，蓝宝石晶体生长炉大整个外壳大多采用双层筒体中间有水冷夹层的方案进行炉体冷却，腔室主体结构简单，尺寸较大，采用此种方案较为合适。但蓝宝石晶体生长炉是一种非常复杂的设备，对于上炉盖，其上不仅有籽晶通孔，观察孔以及各种测试装置通孔，这些都给上炉盖的水冷系统的加装带来了一定的难度；对于下炉盖，有些炉型装有电极通孔，有些炉型装有升降装置，不利于水冷系统的加装，这些都使得设备造价居高不下。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，解决设备成本高的问题。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。上述一种新型蓝宝石晶体...
【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。
【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统，包括腔室主体水冷系统，上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统，其特征在于，所述腔室主体水冷系统为双层筒体之间加导流槽，冷却水一进一出，所述上炉盖水冷系统为单层炉盖悬挂金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出，所述下炉盖水冷系统为单层炉盖支撑金属导热板，金属导热板上焊接有金属水管，冷却水一进一出。2.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体...
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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