下载一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统的技术资料

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本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉炉体冷却系统,包括腔室主体水冷系统,上炉盖水冷系统和下炉盖水冷系统。此种炉体冷却系统设计简单,冷却能力强,制造成本低,换热效果更好。...
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