【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种加热系统。
技术介绍
LED蓝宝石衬底片加工技术在国外已经有几十年的历史，而在国内才刚刚开始，从 2010年开始，国内大量引进国外蓝宝石晶体生长炉。但是由于国外的技术封锁和国内技术队伍建设不足，国内的蓝宝石晶体生长技术一直未能达到理想的水平，表现为晶体生长成品率低，生产成本居高不下，工艺技术不易掌握等。目前国内的蓝宝石晶体生长技术KY工艺为主流，主要引进的设备为俄罗斯的各设备商生产的设备，这种设备采用鸟笼式发热体。 这种发热体在设计完成后，晶体生长的温度梯度也已经定型，随着设备隔热屏的烧损等原因引起的热场改变，晶体生长的温度环境也发生了变化，，而这种发热体却不能随着这些外界条件的变化而改变温度场，从而不能灵活的调节晶体生长的温度梯度，从而造成在设备使用初期，晶体生长情况较好，到了后期，不能满足晶体生长所需的外界条件，从而用户必须在热场未达到使用寿命时就得报废隔热屏等热场材料，从而进一步增加了生产成本。另外，蓝宝石晶体生长的生长周期比较长，以目前主流的60kg晶锭为例，生长周期在18天左右，晶体生长的整体效果要在18天之后才能知晓，不利于用户进行工艺方面的实验。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石长晶炉加热系统，解决晶体生长周期长，成本高的问题。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，包括上发热体，中部发热体和底部发热体，其特征在于，所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。上述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述上部...
【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，包括上发热体，中部发热体和底部发热体，其特征在于，所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。
【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，包括上发热体，中部发热体和底部发热体，其特征在于，所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。2.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述上部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪悬挂于炉壁上，所述中部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪支撑于炉壁上，所述底部发热体通过3片板型网带支撑于下炉盖上。3.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述三部分发热体采用螺旋形钨丝编织而成。4.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述三部分发热体均采用星型结构三相供电，可...
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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