【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种加热系统。
技术介绍
LED蓝宝石衬底片加工技术在国外已经有几十年的历史，而在国内才刚刚开始，从 2010年开始，国内大量引进国外蓝宝石晶体生长炉。但是由于国外的技术封锁和国内技术队伍建设不足，国内的蓝宝石晶体生长技术一直未能达到理想的水平，表现为晶体生长成品率低，生产成本居高不下，工艺技术不易掌握等。目前国内的蓝宝石晶体生长技术KY工艺为主流，主要引进的设备为俄罗斯的各设备商生产的设备，这种设备采用鸟笼式发热体。 这种发热体在设计完成后，晶体生长的温度梯度也已经定型，随着设备隔热屏的烧损等原因引起的热场改变，晶体生长的温度环境也发生了变化，，而这种发热体却不能随着这些外界条件的变化而改变温度场，从而不能灵活的调节晶体生长的温度梯度，从而造成在设备使用初期，晶体生长情况较好，到了后期，不能满足晶体生长所需的外界条件，从而用户必须在热场未达到使用寿命时就得报废隔热屏等热场材料，从而进一步增加了生产成本。另外，蓝宝石晶体生长的生长周期比较长，以目前主流的60kg晶锭为例，生长周期在18天左右，晶体生长的整体效果...
【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，包括上发热体，中部发热体和底部发热体，其特征在于，所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。
【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，包括上发热体，中部发热体和底部发热体，其特征在于，所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。2.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述上部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪悬挂于炉壁上，所述中部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪支撑于炉壁上，所述底部发热体通过3片板型网带支撑于下炉盖上。3.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述三部分发热体采用螺旋形钨丝编织而成。4.根据权利I所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统，其特征在于，所述三部分发热体均采用星型结构三相供电，可...
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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