【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体生长的
，具体涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长炉的旋转提拉结构。
技术介绍
蓝宝石单晶具有优良的光学、机械、化学和电性能，特别是具有中波红外透过率高等特性，从O. 19 μ m至5. 5 μ m波段均具有很高的光学透过率，因此被广泛用作微波电子管介质材料，超声波传导元件，精密仪器轴承，天平刀 口等光学元件以及红外军事装置、空间飞行器、高强度激光器的窗口材料。此外，由于蓝宝石电绝缘、透明、硬度高，因此可以用来作为集成电路的衬底材料，可广泛用于发光二极管(LED)及微电子电路制作超高速集成电路。随着相关应用领域技术的不断发展和产业规模的不断扩大，对蓝宝石晶体的需求量越来越大，同时也需要生长出更大尺寸的高品质蓝宝石晶锭。蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构的可靠性和稳定性，很大程度上决定了蓝宝石晶体炉的技术水平和晶体的成品率。目前的蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉机构易受外界干扰，可靠性和控制精度不高。尤其在生长大尺寸蓝宝石单晶时，这个缺点更加严重影响大尺寸蓝宝石单晶的质量和成品率，使操作难度加大。因此，要产业化生长大尺寸高品质蓝宝石单晶，必须设计出稳定、精确...
【技术保护点】
一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统，悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间，悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨，称重悬臂设置在籽晶杆旋转系统的右侧，籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机及减速器、籽晶杆中心位置调整系统、波纹管和设置在波纹管内的水冷籽晶杆，旋转系统伺服电机及减速器设置在旋转系统上方，波纹管设置在旋转系统下方，籽晶杆中心位置调整系统固定在称重悬臂上，圆柱导轨设置在提拉系统的左侧，提拉系统包括提拉系统伺服电机及减速器、电磁离合器、丝杆和手动提拉传动组件，电磁离合器设置在提拉系...
【技术特征摘要】
1.一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统，悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间，悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨，称重悬臂设置在籽晶杆旋转系统的右侦牝籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机及减速器、籽晶杆中心位置调整系统、波纹管和设置在波纹管内的水冷籽晶杆，旋转系统伺服电机及减速器设置在旋转系统上方，波纹管设置在旋转系统下方，籽晶杆中心位置调整系统固定在称重悬臂上，圆柱导轨设置在提拉系统的左侧，提拉系统包括提拉系统伺服电机及减速器、电磁离合器、丝杆和手动提拉传动组件，电磁离合器...
【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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