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本发明提供了一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构。它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统,悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间,悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨,籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机...该专利属于哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司授权不得商用。
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