【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种人机界面设计。
技术介绍
随着国内蓝宝石行业的蓬勃发展，蓝宝石晶体生长炉开始逐步的国产化，但目前的晶体生长炉基本上都是以国外技术为基础，使用最多的是俄系的晶体生长炉，此种生长炉操作界面复杂，不够人性化，自动化程度低，初学者要掌握整套设备的操作至少需要3-6个月，俄系的晶体生长炉需要操作者用肉眼来观察，长期对着高温熔体，会严重损坏操作者的视力。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，简化操作人员的劳动强度，便于工艺培训和长晶操作。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序...
【技术保护点】
一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮，所述工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮，籽晶提拉向上、向下和停...
【技术特征摘要】
1.一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮，所述工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮...
【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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