金属有机化合物的制备制造技术

金属有机化合物的制备。提供一种连续生产有机金属化合物的方法，其中将两个或多个反应物转移到反应器的接触区以维持反应物的层流，并使反应物生成有机金属化合物。一种连续制备有机金属化合物的方法，所述方法包括：提供包括反应器单元的设备，所述反应器单元包括接触区和传热区；连续将第一反应物流和第二反应物流通入到接触区中以形成反应混合物流，其中第一反应物流和第二反应物流是同向的且基本上具有层流，且其中第一反应物是含金属的化合物；使反应混合流生成有机金属化合物产物流；控制传热区中产物流的温度和压力以维持大部分有机金属化合物为液相；和转移产物流到分离单元中以分离所述有机金属化合物。

【技术实现步骤摘要】
金属有机化合物的制备
本专利技术涉及含金属化合物领域，尤其是制备有机金属化合物领域。
技术介绍
含金属化合物被用于多种应用，例如用于生长金属膜的催化剂和原料。这些化合物的一种应用是制备电子器件，例如半导体。许多半导体材料是通过采用了超纯金属有机(有机金属)化合物的完善的沉积技术来制备的，例如金属有机气相外延、金属有机分子束外延(epitaxy)、金属有机化学气相沉积和原子层沉积。许多这些金属有机化合物或其起始材料由于它们与空气反应、自燃性和/或毒性而使处理面临极大挑战。生产这些有机金属化合物时必须仔细对待。通常的有机金属化合物生产方法是小规模间歇方法，其相对容易控制反应和隔绝氧气。这些间歇方法的产物产率在很宽的范围内变化。例如，制备三甲基镓、三乙基镓和三甲基铟的通常的间歇方法在提纯之前有80-100％的产率。虽然这些方法是有效的，但它们只能有限地生产所需的化合物。需要生产大量的这些有机金属化合物意味着必须进行许多次这样小量的生产，这极大增加所需化合物的成本。美国专利6,495,707公开了一种连续生产三甲基镓(“TMG”)的方法，通过将三氯化镓和三甲基铝加入到蒸馏塔的反应中心，蒸出生本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连续制备有机金属化合物的方法，所述方法包括：(a)提供包括反应器单元的设备，所述反应器单元包括接触区和传热区；(b)连续将第一反应物流和第二反应物流通入到接触区中以形成反应混合物流，其中第一反应物流和第二反应物流是同向的且基本上具有层流，且其中第一反应物是含金属的化合物；(c)使反应混合流生成有机金属化合物产物流；(d)控制传热区中产物流的温度和压力以维持大部分有机金属化合物为液相；和(e)转移产物流到分离单元中以分离所述有机金属化合物。

【技术特征摘要】
2011.08.15 US 61/523,5211.一种连续制备有机金属化合物的方法，所述方法包括：(a)提供包括反应器单元的设备，所述反应器单元包括接触区和传热区；(b)连续将第一反应物流和第二反应物流通入到接触区中以形成反应混合物流，其中第一反应物流和第二反应物流是同向的，且转移到接触区的第一反应物流和第二反应物流都具有≤3500的雷诺数，且其中第一反应物是下式表示的含金属的化合物：式(II)R3cY1dM2Ln，其中每个R3选自H或(C1-C4)烷基；每个Y1选自卤素；M2是第13族金属；L是中性配体；c＝0-3；d＝0-3；c+d＝3；并且n＝0-1，其中第二反应物选自三-(C1-C4)烷基胺、三-(C1-C4)烷基膦和上述的式(II)化合物，其中M2选...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·D·莫德特兰德，
申请(专利权)人：陶氏环球技术有限公司，
类型：发明
国别省市：