蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室制造技术

本发明专利技术提供了一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。本发明专利技术还公开了一种蚀刻终点检测仪及蚀刻腔体。本发明专利技术提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室。
技术介绍
在半导体制造中，蚀刻(Etch)是指将形成在晶圆表面上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。为了获知，所述薄膜是否被蚀刻至必要的厚度，需要采用蚀刻终点检测仪(EPD，全称End point detector)进行检测。蚀刻终点检测仪利用波长侦测蚀刻终点。通俗而言，就是通过监测蚀刻腔(chamber)里光线的变化来进行检测。由于蚀刻腔室的墙壁一般是金属制作而成，检测光线无法穿透，因此，需要在腔壁的内壁保护层上开设用于安装蚀刻终点检测窗口(EH) window)的开口。 请参阅图I至图4，其中，图I为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图；图2为图I的侧视图；图3为现有的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构俯视示意图；图4为图3的侧视图。由图I至图4可见，蚀刻终点检测窗口包括透光板(EH) glass) I’和窗口板(EPD window plate) 2’，所述窗口板2’上开设有若干通光孔22’，所述窗口板2’上设有用于安装透光板I’的凹槽21’，所述透光板至少覆盖于所述窗口板2’上具有通光孔22’的区域，所述检测光线经蚀刻终点检测窗口上的通光孔22’到达光谱仪，光谱仪再把信号转换成数字信号，传送给机台ECC (中央控制单元)，从而来控制蚀刻是不是到终点了。现有的机台中，请继续参阅图I至图3，透光板I’通过螺纹组件3’(也可以采用胶带等其他方式)安装于窗口板2’的凹槽21’中。由于内壁保护层使用一段时间后要进行更换，因此，不得不需要拆卸内壁保护层上的蚀刻终点检测窗口。在拆卸的过程中，松开螺纹组件3’或者撕开胶带后，一旦没有同时握紧透光板I’和窗口板2’，会发生透光板I’和窗口板2’坠落损坏事件，尤其透光板是十分容易破碎的，因此，不但影响的内壁保护层的维护、更换效率，而且也增大了透光板I’的使用量，提高了生产成本。因此，如何提供一种可以防止透光板在拆卸过程中掉落的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室实是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，可以防止透光板在拆卸过程中掉落，提高维护的安全性和效率，降低了成本。为了达到上述的目的，本专利技术采用如下技术方案—种蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述卡槽的截面呈矩形。优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述透光板是玻璃。优选的，所述透光板通过螺栓组件或者胶带安装于所述凹槽中。本专利技术还公开了一种蚀刻终点检测仪，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪，用于检测蚀刻终点的光线经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述卡槽的截面呈矩形。优选的，在上述的蚀刻终点检测仪中，所述透光板是玻璃。本专利技术还公开了一种蚀刻腔室， 包括腔体、内壁保护层和蚀刻终点检测窗口，所述内壁保护层设置于所述腔体的内侧，所述内壁保护层上开设有用于安装所述蚀刻终点检测窗口的开口，所述蚀刻终点检测窗口，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述卡槽的截面呈矩形。优选的，在上述的蚀刻腔室中，所述透光板是玻璃。本专利技术提供的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室，通过在所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽，可以使得透光板卡在窗口板的卡槽中，防止透光板在拆卸过程中掉离窗口板，保护了易碎的透光板，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率,降低了配件成本。附图说明本专利技术的蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室由以下的实施例及附图给出。图I为现有的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图。图2为图I的侧视图。图3为现有的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构俯视示意图。图4为图3的侧视图。图5为本专利技术的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图。图6为图5的侧视图。图7为本专利技术的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构侧视示意图。图8为本专利技术的蚀刻腔室的结构示意图。图中，1、1’_透光板、2、2’_ 窗口板、21、21’_ 凹槽、22、22’_ 通光孔、211-卡槽、3、3’ -螺栓组件、4-内壁保护层。具体实施例方式下面将参照附图对本专利技术进行更详细的描述，其中表示了本专利技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本专利技术而仍然实现本专利技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本专利技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本专利技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本专利技术的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。请参阅图5至图7，其中，图5为本专利技术的蚀刻终点检测窗口的结构俯视示意图；图6为图5的侧视图；图7为本专利技术的蚀刻终点检测窗口的窗口板的结构侧视示意图。本实施例公开了一种蚀刻终点检测窗口，包括透光板I和窗口板2,所述窗口板2上设有用于安装透光板I的凹槽21，所述透光板I通过螺栓组件4固定安装于所述凹槽21中，当然，所述透光板I也可以通过胶带固定安装于所述凹槽21中，所述凹槽21的底部开设若干通光孔22，所述凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板I的卡槽211。通过在所述窗口板2上设有用于安装透光板I的凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板I的卡槽 211，可以使得透光板I卡在窗口板2的卡槽211中，防止透光板I在拆卸过程中掉离窗口板2，保护了易碎的透光板1，从而，提高了蚀刻终点检测窗口、检测仪及蚀刻腔室的维护安全性和效率，降低了配件成本。优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述卡槽211的截面呈矩形。优选的，在上述的蚀刻终点检测窗口中，所述透光板I是玻璃。请继续参阅图5至图7，本实施例还公开了一种蚀刻终点检测仪，包括蚀刻终点检测窗口和光谱仪(未图示)，用于检测蚀刻终点的光线所述经蚀刻终点检测窗口传输至所述光谱仪，所述蚀刻终点检测窗口包括透光板I和窗口板2，所述窗口板2上设有用于安装透光板I的凹槽21，所述透光板I通过螺栓组件4固定安装于所述凹槽21中，当然，所述透光板I也可以通过胶带固定安装于所述凹槽21中，所述凹槽21的底部开设若干通光孔22，所述凹槽21的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板I的卡槽2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蚀刻终点检测窗口，其特征在于，包括透光板和窗口板，所述窗口板上设有用于安装透光板的凹槽，所述凹槽的底部开设若干通光孔，所述凹槽的两侧壁下部对应开设用于卡住透光板的卡槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴敏，王旭东，周雷，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：