显示基板的大气压等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种显示基板的APP处理装置，属于显示技术领域。解决了现有的APP处理装置难以使等离子体在玻璃基板上均匀分布的技术问题。该APP处理装置，用于对显示基板进行APP处理，包括射频发生器和相对竖直放置的两个电极板；其中，一个电极板的内表面为平面，另一个电极板的内表面为阶梯面，使所述两个电极板之间形成上窄下宽的缝隙，并在所述缝隙内产生等离子体；所述射频发生器与所述两个电极板相连接，向所述两个电极板施加射频信号。本发明专利技术应用于玻璃基板的APP处理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于显示
，具体涉及一种显示基板的大气压等离子体处理装置。
技术介绍
随着显示技术的不断发展,液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)已在平板显示领域中占据了主导地位。在液晶显示器的制造过程中，需要提高光刻胶与非金属膜之间的粘附性，所以在玻璃基板(也可以是其他材料的显示基板)上涂敷光刻胶之前利用大气压等离子体(Atmospheric-Pressure Plasma, APP)处理装置对玻璃基板进行表面处理。目前的APP处理装置大部分采用介质阻挡放电方式。具体是在上、下两个电极板之间放置一层或多层绝缘介质，当两个电极板上施加了足够高的交流电压时，两个电极板之间的气体就会被击穿而产生介质阻挡放电。绝缘介质的存在避免了两电极之间直流击穿·放电的形成，如弧光或者火花放电，使两个电极板之间得到空间上分布相对较均匀的气体放电，形成等离子体。但是，这种放电方式是由大量的快速脉冲放电通道构成的，且较难在两个电极板之间均匀分布。现在的生产线中，在APP处理装置的下电极板上设置了许多通孔，这样等离子体可以透过这些通孔，对下电极板下方的玻璃基板进行表面处理。但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板的大气压等离子体处理装置，用于对显示基板进行大气压等离子体处理，其特征在于：包括射频发生器和相对竖直放置的两个电极板；其中，一个电极板的内表面为平面，另一个电极板的内表面为阶梯面，使所述两个电极板之间形成上窄下宽的缝隙，并在所述缝隙内产生等离子体；所述射频发生器与所述两个电极板相连接，向所述两个电极板施加射频信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文同，胡文斌，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：