等离子显示面板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种包括有包含金属氧化物的基底层和分散配置在基底层上的凝集粒子的等离子显示面板的制造方法，该方法包含以下的工艺。在电介质层上形成基底层。接着，通过在基底层上涂敷使凝集粒子分散了的有机溶剂，从而形成涂敷层。接着，通过对涂敷层进行减压干燥，从而至少在基底层上形成有机溶剂的覆膜。接下来，将已经形成覆膜的前面板与背面板对置配置。接着，通过加热被对置配置的前面板与背面板而使覆膜蒸发，且将凝集粒子分散配置在基底层上，进而从放电空间中排出蒸发的覆膜的成分。接着，对覆膜已被蒸发的前面板和背面板进行密封。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
在此被公开的技术涉及被利用于显示器件等中的。
技术介绍
等离子显示面板(以下称作rop)由前面板与背面板构成。前面板由玻璃基板、形成于玻璃基板的一个主面上的显示电极、覆盖显示电极并发挥作为电容器的作用的电介质层、以及形成于电介质层上且由氧化镁(MgO)组成的保护层构成。另一方面，背面板由玻璃基板、形成于玻璃基板的一个主面上的数据电极、覆盖数据电极的基底电介质层、形成于基底电介质层上的隔壁、以及形成于各隔壁之间且分别以红色、绿色及蓝色发光的荧光体层构成。前面板与背面板使电极形成面侧对置，并被气密密封。在由隔壁划分出的放电空 间内封入氖(Ne)及氙(Xe)的放电气体。放电气体根据选择性地施加在显示电极上的影像信号电压而放电。因放电而产生的紫外线激励各色的荧光体层。激励后的荧光体层以红色、绿色、蓝色发光。这样，PDP实现彩色图像显示(参照专利文献I)。保护层主要具有4种功能。其一，保护电介质层不会受到基于放电的离子冲击。其二，释放用于使数据放电产生的初始电子。其三，保持用于使放电产生的电荷。其四，在维持放电之际释放二次电子。通过保护电介质层不会受到离子冲击，从而可抑制放电电压的上升。通过增加初始电子释放数，从而可以降低成为图像闪烁的原因的数据放电错误。通过提高电荷保持性能，从而可以降低施加电压。通过增加二次电子释放数，从而可以降低维持放电电压。为了使初始电子释放数增加，例如正在进行向保护层的MgO中添加硅(Si)或铝(Al)等的尝试(例如参照专利文献1、2、3、4、5等)。现有技术文献专利文献专利文献I JP特开2002-260535号公报专利文献2 JP特开平11-339665号公报专利文献3 JP特开2006-59779号公报专利文献4 JP特开平8-236028号公报专利文献5 JP特开平10-334809号公报
技术实现思路
一种PDP的制造方法，PDP具备背面板、以及在与背面板之间设置放电空间并被密封的前面板。前面板具有电介质层和覆盖电介质层的保护层。保护层包含形成于电介质层上的基底层。在基底层，氧化镁的结晶粒子多个凝集而成的凝集粒子分散配置于整个面上。基底层至少包含第I金属氧化物与第2金属氧化物。进而，基底层在X射线衍射分析中具有至少一个峰值。基底层的峰值位于第I金属氧化物的X射线衍射分析中的第I峰值和第2金属氧化物的X射线衍射分析中的第2峰值之间。第I峰值及第2峰值表示与基底层的峰值所表示的面方位相同的面方位。第I金属氧化物及第2金属氧化物是从氧化镁、氧化钙、氧化锶及氧化钡组成的群之中选择的2种。该rop的制造方法包含以下工艺。在电介质层上形成基底层。接着，通过在基底层上涂敷使凝集粒子分散了的有机溶剂，从而形成涂敷层。接着，通过对涂敷层进行减压干燥，从而至少在基底层上形成有机溶剂的覆膜。接下来，将已经形成覆膜的前面板与背面板对置配置。接着，通过加热被对置配置的前面板与背面板而使覆膜蒸发，且将凝集粒子分散配置在基底层上，进而从放电空间中排出蒸发的覆膜的成分。接着，对覆膜已被蒸发的前面板和背面板进行密封。附图说明图I是表示实施方式涉及的rop的构造的立体图。图2是表示实施方式涉及的前面板的构成的剖视图。 图3是表示实施方式涉及的rop的制造工序的流程图。图4是表示实施方式涉及的基底膜的X射线衍射分析结果的图。图5是表示实施方式涉及的其他构成的基底膜的X射线衍射分析结果的图。图6是实施方式涉及的凝集粒子的放大图。图7是表示实施方式涉及的I3DP的放电延迟与保护层中的钙(Ca)浓度的关系的图。图8是表示该PDP涉及的电子释放性能与Vscn点亮电压的关系的图。图9是表示实施方式涉及的凝集粒子的平均粒径与电子释放性能的关系的图。图10是表示实施方式涉及的凝集粒子的平均粒径与隔壁破损概率的关系的图。图11是表示实施方式涉及的保护层形成工序的流程图。图12是表示实施方式涉及的保护层形成工序的图。具体实施例方式PDP的基本构造是一般的交流面放电型TOP。如图I所示，PDPl将前面玻璃基板3等构成的前面板2和背面玻璃基板11等构成的背面板10对置配置。前面板2与背面板10的外周部被玻璃料等组成的密封材料进行气密密封。在被密封的ropi内部的放电空间16中以53kPa 80kPa的压力封入氖(Ne)及氙(Xe)等放电气体。在前面玻璃基板3上，扫描电极4及维持电极5构成的一对带状的显示电极6和黑条7互相平行地分别配置有多列。在前面玻璃基板3上，按照覆盖显示电极6与黑条7的方式，形成发挥作为电容器的作用的电介质层8。进而，在电介质层8的表面上形成有由氧化镁(MgO)等组成的保护层9。再有，如图2所示，本实施方式中的保护层9包含层叠于电介质层8上的基底层、即基底膜91以及附着于基底膜91上的凝集粒子92。扫描电极4及维持电极5分别在由铟锡氧化物(ITO)、二氧化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)等导电性金属氧化物组成的透明电极上层叠有包含Ag的总线电极。在背面玻璃基板11上，在与显示电极6正交的方向上互相平行地配置着由以银(Ag)为主成分的导电性材料组成的多个数据电极12。数据电极12被基底电介质层13覆盖。进而，在数据电极12间的基底电介质层13上形成有划分放电空间16的规定高度的隔壁14。在基底电介质层13上及隔壁14的侧面上，按照每个数据电极12，依次涂敷并形成借助紫外线而以红色发光的荧光体层15、以绿色发光的荧光体层15及以蓝色发光的荧光体层15。在显示电极6与数据电极12交叉的位置上形成有放电单元。具有排列在显示电极6方向上的红色、绿色、蓝色的荧光体层15的放电单元成为用于彩色显示的像素。另外，在本实施方式中，封入放电空间16中的放电气体包含10体积％以上、30%体积以下的Xe。接着，对TOPl的制造方法进行说明。首先，对前面板2的制造方法进行说明。如图3所示，在电极形成工序Sll中，通过光刻法在前面玻璃基板3上形成扫描电极4及维持电极5、与黑条7。扫描电极4及维持 电极5具有包含用于确保导电性的银(Ag)的金属总线电极4b、5b。再有，扫描电极4及维持电极5还具有透明电极4a、5a。金属总线电极4b层叠于透明电极4a上。金属总线电极5b层叠于透明电极5a上。在透明电极4a、5a的材料中，为了确保透明度与电导而利用铟锡氧化物(ITO)等。首先，通过溅射法等，在前面玻璃基板3上形成ITO薄膜。然后，通过平版印刷法形成规定图案的透明电极4a、5a。总线电极4b、5b的材料利用的是包含Ag、用于使Ag粘结的玻璃料、感光性树脂和溶剂等的白色膏剂。首先，通过丝网印刷法等在前面玻璃基板3上涂敷白色膏剂。接着，利用干燥炉除去白色膏剂中的溶剂。接着，隔着规定图案的光掩模，对白色膏剂进行曝光。接着，白色膏剂被显影而形成总线电极图案。最后，利用烧成炉，在规定的温度下烧成总线电极图案。也就是说，除去总线电极图案中的感光性树脂。再有，总线电极图案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在烧成后再次玻璃化。通过以上的工序,形成总线电极4b、5b o黑条7利用的是包含黑色颜料的材料。利用丝网印刷法等在显示电极6之间形成黑条7。接着，在电介质层形成工序S12中，形成电介质层8。电介质层8的材料利用的是包含电介质玻璃料、树脂和溶剂等的电介质膏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：武田英治，辻田卓司，桥本润，后藤真志，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：