等离子显示面板的制造方法技术

本发明专利技术提供一种具备放电空间、和与放电空间相对置的保护层的等离子显示面板的制造方法。通过向所述放电空间导入包含还原性有机气体的气体，从而使保护层暴露在还原性有机气体中。接着，从放电空间排出还原性有机气体。接着，向放电空间封入放电气体。保护层具有由氧化镁构成的基底膜、和分散配置在基底膜上的多个金属氧化物粒子。金属氧化物粒子至少包含第1金属氧化物和第2金属氧化物。并且，金属氧化物粒子在X射线衍射分析中至少具有一个峰值。该峰值位于第1金属氧化物在X射线衍射分析中的第1峰值、与第2金属氧化物在X射线衍射分析中的第2峰值之间。第1峰值及第2峰值表示与该峰值示出的面方位相同的面方位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
在此公开的技术涉及用于显示设备等的。
技术介绍
等离子显示面板(以下，称作rop)由前面板和背面板构成。前面板由玻璃基板、在玻璃基板的一个主面上形成的显示电极、覆盖显示电极而起到电容器的作用的电介质层、在电介质层上形成的氧化镁(MgO)形成的保护层构成。为了增加来自保护层的初始电子放射数，例如试着在保护层的MgO中添加了硅(Si)、铝(Al)等(例如，参照专利文献1、2、3、4、5等)。 在先技术文献专利文献专利文献I日本特开2002-260535号公报专利文献2日本特开平11-339665号公报专利文献3日本特开2006-59779号公报专利文献4日本特开平8-236028号公报专利文献5日本特开平10-334809号公报
技术实现思路
是具备放电空间、和与所述放电空间相对置的保护层的PDP的制造方法。通过向所述放电空间导入包含还原性有机气体的气体，从而使保护层暴露在还原性有机气体中。接着，从放电空间排出还原性有机气体。接着，向放电空间封入放电气体。保护层具有由氧化镁构成的基底膜、和分散配置在基底膜上的多个金属氧化物粒子。金属氧化物粒子至少包含第I金属氧化物和第2金属氧化物。并且，金属氧化物粒子在X射线衍射分析中至少具有一个峰值。该峰值位于第I金属氧化物在X射线衍射分析中的第I峰值、与第2金属氧化物在X射线衍射分析中的第2峰值之间。第I峰值及第2峰值表示与该峰值示出的面方位相同的面方位。第I金属氧化物及第2金属氧化物是从由氧化镁、氧化钙、氧化锶及氧化钡构成的组中选择的2种化合物。附图说明图I是表示实施方式所涉及的rop结构的立体图。图2是表示实施方式所涉及的前面板的构成的剖视图。图3是表示实施方式所涉及的rop的制造工艺流程的图。图4是表示第I温度分布例的图。图5是表示第2温度分布例的图。图6是表示第3温度分布例的图。图7是表示实施方式所涉及的基底膜表面的X射线衍射分析结果的图。图8是表示实施方式所涉及的其他基底膜表面的X射线衍射分析结果的图。图9是实施方式所涉及的凝集粒子的放大图。图10是表示I3DP的放电延迟与基底膜中的钙浓度之间的关系的图。图11是表示rop的电子放射性能与Vscn点亮电压的图。图12是表示凝集粒子的平均粒径与电子放射性能的关系的图。具体实施例方式PDP的基本结构是一般的交流面放电型TOP。如图I、图2所示，PDPl对置配置了由前面玻璃基板3等构成的前面板2、和由背面玻璃基板11等构成的背面板10。前面板2·和背面板10的外周部被由玻璃料等构成的密封材料密封。在密封后的ropi内部的放电空间16中，以53kPa (400Torr) 80kPa (600Torr)的压力封入了氖(Ne)及氣(Xe)等放电气体。在前面玻璃基板3上彼此平行地分别排列配置多列由扫描电极4及维持电极5构成的一对带状的显示电极6、和黑色长条7。在前面玻璃基板3上，以覆盖显示电极6和黑色长条7的方式形成起到电容器的作用的电介质层8。并且，在电介质层8的表面形成由氧化镁(MgO)等构成的保护层9。另外，将在后面详细叙述保护层9。扫描电极4及维持电极5分别在由铟锡氧化物(ITO)、氧化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)等导电性金属氧化物构成的透明电极上层叠由Ag构成的总线电极。在背面玻璃基板11上，在与显示电极6正交的方向上彼此平行地配置了由以银(Ag)为主成分的导电性材料构成的多个数据电极12。数据电极12被基底电介质层13覆盖。并且，在数据电极12间的基底电介质层13上形成划分放电空间16的规定高度的隔壁14。在隔壁14间的沟槽内，按每个数据电极12依次涂敷形成了根据紫外线发出红色光的突光体层15、发出绿色光的突光体层15及发出蓝色光的突光体层15。在显不电极6与数据电极12交叉的位置上形成放电单元。具有在显示电极6的方向上排列的红色、绿色、蓝色的荧光体层15的放电单元成为用于进行彩色显示的像素。另外，在本实施方式中，封入到放电空间16内的放电气体包含10体积％以上、30%体积以下的Xe。如图3所示，本实施方式所涉及的I3DPl的制造方法包括前面板制作工序Al、背面板制作工序BI、玻璃料涂敷工序B2、密封工序Cl、还原性气体导入工序C2、排气工序C3及放电气体供给工序C4。在前面板制作工序Al中，通过光刻法，在前面玻璃基板3上形成扫描电极4、维持电极5和黑色长条7。扫描电极4及维持电极5具备包含用于确保导电性的银(Ag)的金属总线电极4b、5b。此外，扫描电极4及维持电极5具备透明电极4a、5a。金属总线电极4b被层叠在透明电极4a上。金属总线电极5b被层叠在透明电极5a上。在透明电极4a、5a的材料中，使用用于确保透明度和电传导性的铟锡氧化物(ITO)等。首先，通过溅射法等，在前面玻璃基板3上形成ITO薄膜。接着，通过光刻法，形成规定图案的透明电极4a、5a。在金属总线电极4b、5b的材料中使用包含银(Ag)、用于使银粘结的玻璃料、感光性树脂和溶剂等在内的电极膏剂。首先，通过丝网印刷法等，在前面玻璃基板3上涂敷电极膏剂。接着，通过干燥炉，除去电极膏剂中的溶剂。接着，隔着规定图案的光掩模使电极膏剂曝光。接着，使电极膏剂显影，形成金属总线电极图案。最后，通过烧成炉，在规定温度下烧成金属总线电极图案。也就是说，除去金属总线电极图案中的感的光性树脂。此外，使金属总线电极图案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在烧成后再次玻璃化。通过以上的工序，形成金属总线电极4b、5b。黑色长条7是由包含黑色颜料的材料形成的。接着，形成电介质层8。接着，形成电介质层8及保护层9。将在后面详细叙述电介质层8及保护层9。 通过以上的工序，完成在前面玻璃基板3上具有规定的构成部件的前面板2。通过光刻法，在背面玻璃基板11上形成数据电极12。在数据电极12的材料中，使用包含用于确保导电性的银(Ag)、用于使银粘结的玻璃料、感光性树脂和溶剂等在内的数据电极膏剂。首先，通过丝网印刷法等，在背面玻璃基板11上以规定厚度涂敷数据电极膏齐U。接着，通过干燥炉，除去数据电极膏剂中的溶剂。接着，隔着规定图案的光掩模，使数据电极膏剂曝光。接着，使数据电极膏剂显影，形成数据电极图案。最后，通过烧成炉，在规定温度下烧成数据电极图案。也就是说，除去数据电极图案中的感光性树脂。此外，使数据电极图案中的玻璃料熔融。熔融后的玻璃料在烧成后再次玻璃化。通过以上的工序，形成数据电极12。在此，除了通过丝网印刷形成数据电极膏剂的方法以外，也可以使用溅射法、蒸镀法等。接着，形成基底电介质层13。在基底电介质层13的材料中，使用包含电介质玻璃料、树脂和溶剂的基底电介质膏剂。首先，通过丝网印刷法等，在形成了数据电极12的背面玻璃基板11上以规定厚度覆盖数据电极12的方式涂敷基底电介质膏剂。接着，通过干燥炉，除去基底电介质膏剂中的溶剂。最后，通过烧成炉,在规定温度下烧成基底电介质膏剂。也就是说，除去基底电介质膏剂中的树脂。此外，使电介质玻璃料熔融。熔融后的电介质玻璃料在烧成后再次玻璃化。通过以上的工序，形成基底电介质层13。在此，除了通过丝网印刷基底电介质膏剂的方法以外，还可以使用压模涂敷法(die coating method)、旋涂法等。此外，也可以不使用基底电介质膏剂，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤真志，辻田卓司，河原崎秀司，堀河敬司，小盐千春，奥村加奈子，三浦正范，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：