【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶显示装置等的制造工序中的、玻璃基板的快速高精度调温装置。
技术介绍
在玻璃基板面上形成感光膜后，为使感光膜干燥要使基板达到高温，然后需要将基板冷却到适宜曝光的23°C。之前提出的日本特许第3701007号公报记载了用大量喷嘴向成膜之后的玻璃基板面垂直喷吹调温风而对玻璃基板面进行调温的技术。专利文献I :日本特许第3701007号公报
技术实现思路
_4] 专利技术要解决的问题 然而，存在的问题是，用喷嘴垂直喷吹调温风时，如图4所示，调温风遇到玻璃基板面后弹回形成了点接触，因此调温耗费时间，并且，由于带有热量的弹回风成为了喷吹风的阻力，同时又混入于调温风，因此玻璃基板面的调温精密度不足，公报虽称是在230C ±0. 1°C的精度下调温，但实际情况下达不到这样的精度。用于解决问题的方案本专利技术用以下技术方案解决了上述问题，S卩，形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器的下部横跨架设有数个扁方筒体形且其下表面的中间设置有供调温风返回进入的回收口的扁方筒体，通过从各扁方筒体之间的狭小间隙向移动至该容器下方极近位置的玻璃基板...
【技术保护点】
一种玻璃基板面的快速高精度调温装置，用于在对玻璃基板面依次进行成膜、曝光和蚀刻的流程工序中，对设于成膜工序和曝光工序之间的玻璃基板面进行调温，其特征在于，该调温装置形成有调温风循环容器，其具有能够覆盖任何大小的玻璃基板面的尺寸，在该容器的下部横跨架设有数个扁方筒体形且其下表面的中间设置有供调温风返回进入的回收口的扁方筒体，通过从各扁方筒体之间的狭小间隙向移动至该容器下方极近位置的玻璃基板面喷吹该容器内的调温风的喷吹调温以及上述调温风与玻璃基板面进行表面接触直至蔓延并流入该回收口的表面接触调温，而对玻璃基板面进行快速调温，并且从该回收口回收调温后的带热风，防止其混入到容器内的...
【技术特征摘要】
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