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本发明提供一种新颖的、液晶显示装置等的制造工序中对玻璃基板面快速且高精度地进行调温的调温装置。本发明是在对玻璃基板面依次进行成膜、曝光和蚀刻的流程工序中，对设于成膜工序和曝光工序之间的玻璃基板面进行调温的调温装置，形成有调温风循环容器，其具...
该专利属于株式会社上村工业所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社上村工业授权不得商用。

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