【技术实现步骤摘要】
本技术涉及工业机器人，更具体地说，涉及一种石墨舟载具和一种使用该载具的机器人系统和机器人处理系统。
技术介绍
由于太阳能硅片处理的工艺要求，石墨舟进入PECVD (等离子体增强化学气相沉积法)工艺处理设备前必须把硅片放入舟内指定位置，待工艺处理完成后再把硅片从中取出。石墨舟内仅用钩钉固定硅片，人工取放难度很大。每个石墨舟内硅片的数量较大多(例如两百片以上)，人工只能逐片取放，劳动强度高，易疲劳。此外，由于硅 片很薄(一般小于O. 2mm)、易碎，而且人工不可直接触碰，需要使用专用吸笔。人工取放速度慢而且碎片率高。目前已经采用了机器人系统来进行前述的取放工作，其具备高精度和高效率的优势。机器人系统使用的专用夹具和系统本身具有非常高的重复定位精度，保证了较低并且稳定的碎片率。现有的类似自动化设备多数为在线式生产，与每套PECVD工艺处理设备一对一单独配合，并且要在工艺处理设备后留出足够安装空间，额外占地空间大。对于已经布置好的生产车间内，设备后部也没有足够空间。此外，由于在线生产设备只能和工艺处理设备一对一配对，所以产能低、柔性差。由于此，已经开发除了离线式的机器人...
【技术保护点】
一种石墨舟载具，包括第一平台和第二平台，第一平台具有用于支撑第一石墨舟的第一操作位置，第二平台具有用于支撑第二石墨舟的第二操作位置，所述第一操作位置和第二操作位置都在一机器人的工作范围内，所述第一操作位置和第二操作位置沿第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向错开，所述第一操作位置和第二操作位置沿与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向至少部分地重叠。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈黎，高一平，庄磊，吴昊，吴月海，
申请(专利权)人：ABB技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。