一种自动物料搬运系统技术方案

本发明专利技术公开了一种基于光通信的自动物料搬运系统，包括：运动在导轨上的多个搬送运载器；多个基站，将所述导轨对应分成多个连续的封闭区间，每一个基站在其对应封闭区间内与搬送运载器进行光通信，以获取并发送其封闭区间内的搬送运载器信息；以及服务器，耦接多个基站，接收并依据搬送运载器信息发出控制指令至基站，基站接收控制指令并将控制指令转换为光信号发送至搬送运载器，使得搬送运载器能够根据光信号改变运动状态。本发明专利技术的自动物料搬运系统基于光通信技术对搬送运载器进行搬运调度，不仅解决了采用射频通信产生的信号干扰问题，还能对搬送运载器进行区间管理。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体集成电路领域，特别涉及一种自动物料搬运系统。
技术介绍
随着信息科技日新月异，集成电路在日常生活中扮演重要的角色，其需求相对也大幅提升，因此促进全球半导体市场的蓬勃发展。为了因应集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险，因此，自动物料搬运系统(AutomaticMaterial Handling System;AMHS)已经广泛使用于半导体制造企业。 自动化物料搬运系统(AMHS)不仅能提供高度自动化，对于整个制造系统的效能产生相当大的影响，还可以有效地利用有限的洁净室生产空间，提高生产设备的利用率，减少在制品量，缩短周期时间等。随着AMHS系统搬运量的增长，如何确保搬运效率，尽快完成晶片的搬运，是一个巨大的挑战。优化半导体自动物料搬运系统的调度对于提升半导体制造企业的竞争力至关重要。目前的AMHS系统中，通常是通过基站与自动导航车之间进行射频通信，例如通过在自动导航车上设置RFID标签或射频芯片等方式，从而控制自动导航车的运动状态来进行实时搬运调度，然而以射频通信技术来进行基站与自动导航车间的通信，容易发生因射频信号干扰洁净室设备和晶片生产，影响到产品的良率的情况。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种基于光通信的自动物料搬运系统，以避免射频信号对晶片生产产生干扰。为达成上述目的，本专利技术提供一种基于光通信的自动物料搬运系统，包括多个搬送运载器，运动在导轨上；N个基站，将所述导轨对应分成N个连续的封闭区间，每一所述基站在其对应封闭区间内与所述搬送运载器进行光通信，以获取并发送所述封闭区间内的搬送运载器信息，其中N为大于等于2的正整数；以及服务器，耦接所述N个基站，接收并依据所述搬送运载器信息发出控制指令至所述基站，所述基站将所述控制指令转换为光信号发送至所述搬送运载器，使得所述搬送运载器根据所述光信号改变运动状态。优选的，所述搬送运载器包括第一光通信模块，包括第一发射模块及第一接收模块，用以发射及接收光信号；第一信号处理模块，耦接所述第一接收模块，将接收的所述光信号转换为控制信号；以及控制模块，耦接所述第一信号处理模块，根据所述控制信号控制所述搬送运载器的运动状态。优选的，所述基站包括第二光通信模块，包括第二发射模块及第二接收模块，用以发射及接收光信号；第二信号处理模块，包括编码模块及解码模块，所述解码模块耦接所述第二接收模块，将接收的所述光信号解码为所述搬送运载器信息；所述编码模块耦接所述第二发射模块，将所述控制指令编码为光信号；以及服务器通信模块，耦接所述第二信号处理模块，将所述搬送运载器信息发送至所述服务器，以及从所述服务器接收所述控制指令。优选的，所述服务器包括基站通信模块，用以从所述基站接收所述搬送运载器信息，以及向所述基站发射所述控制指令；以及第三处理模块，耦接所述基站通信模块，根据所述搬送运载器信息产生所述控制指令。优选的，所述封闭区间大小由所述基站的光波束角及发射功率决定。优选的，所述搬送运载器信息包括所述搬送运载器在所述封闭区间的确认信息。优选的，所述搬送运载器信息还包括所述搬送运载器识别信息。优选的，当所述基站通信模块接收到第N基站及第N-I基站发出的所述搬送运载器信息时，所述第三处理模块向所述第N-I基站发送停止指令。优选的，当所述基站通信模块接收到第N-I基站发出的所述搬送运载器信息且未接收到第N基站发出的所述搬送运载器信息时，所述第三处理模块向所述第N-I基站发送·启动指令。优选的，当所述基站通信模块接收到第M-2基站发出的所述搬送运载器信息，且不再接收到第M-I基站发出的所述搬送运载器信息的同时或之后才接收到第M基站发出的所述搬送运载器信息时，所述第三处理模块向所述第M-2基站发送启动指令，其中M为大于2且小于等于N的正整数。本专利技术的优点在于通过搬送运载器与基站之间的光通信，对搬送运载器进行搬运调度，不仅解决了现有技术中采用射频通信产生的信号干扰问题，还能对搬送运载器进行区间管理。附图说明图I为本专利技术一实施例自动物料搬运系统的示意图。图2为本专利技术一实施例搬送运载器的架构示意图。图3为本专利技术一实施例基站的架构不意图。图4为本专利技术一实施例服务器的架构示意图。图5为本专利技术一实施例搬送运载器与基站进行通讯的示意图。具体实施例方式为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容作进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。首先请参考图1，其显示本专利技术一实施例的基于光通信的自动物料搬运系统架构示意图。自动物料搬运系统包括多个搬送运载器10，N个基站20以及服务器30。其中，搬送运载器10运动在导轨上，作为搬运及装载物料的载具。搬送运载器10可以是自动导航车或工业搬送机器人等，本专利技术不限于此。N个基站20以其进行光通信的范围将导轨划分成N个首尾相接的封闭区间，每一个基站20可在其对应封闭区间内与搬送运载器10进行光通/[目O进一步来说，基站20的光通信范围的大小由其光波束角及其发射功率决定。基站一般均匀布置在导轨的一侧，在导轨的同一平面上，本专利技术不限此。如图5所示，从基站20发射的光线所形成的三角形区域即为其光通信范围，在该范围之内基站20和搬送运载器10相互通信。请继续参考图1，当搬送运载器10进入基站20的封闭区间内，基站20将接收从搬送运载器10发出的光信号，从这一光信号中获取搬送运载器10的信息，并将这一搬送运载器信息发送至服务器30，其中搬送运载器信息包括搬送运载器10在封闭区间的确认信息，通过这一确认信息，基站20就可以确认在其对应的封闭区间内存在搬送运载器10。服务器30耦接所有的基站20，因此能够监控整个系统中所有搬送运载器10的位置信息，也即是可以监控搬送运载器10存在于哪些封闭区间中。服务器30根据基站20发出的搬送运载器信息产生控制指令，并将控制指令发送回相应的基站20，再由基站20将这一控制指令转换为光信号发送给搬送运载器10，使得搬送运载器10改变其运动状态。由以上可知，本专利技术是对搬送运载器信息及控制指令进行光信号编码和光信号解码来实现光通信，从而进行搬送运载器的搬运调度，以避免射频干扰的发生。图2至图4详细说明了本专利技术系统中搬送运载器10，基站20以及服务器30的构成。请先参考图2，搬送运载器10包括第一光通信模块11，第一信号处理模块12以及控制模块13。第一通信模块11包括第一发射模块110以及第一接收模块111，用以发射及接收光信号。第一信号处理模块12耦接第一接收模块111，将接收的光信号转换为控制信号。 控制模块13耦接第一信号处理模块12，根据控制信号控制搬送运载器10的运动状态。请继续参考图3，基站20包括第二光通信模块21，第二信号处理模块22，以及服务器通信模块23。第二光通信模块21包括第二发射模块210及第二接收模块211，用以发射及接收光信号；第二信号处理模块22包括编码模块220及解码模块221，其中解码模块221耦接第二接收模块211，将接收的光信号解码为搬送运载器信息；编码模块220本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于光通信的自动物料搬运系统，其特征在于，包括：多个搬送运载器，运动在导轨上；N个基站，将所述导轨对应分成N个连续的封闭区间，每一所述基站在其对应封闭区间内与所述搬送运载器进行光通信，以获取并发送所述封闭区间内的搬送运载器信息，其中N为大于等于2的正整数；以及服务器，耦接所述N个基站，接收并依据所述搬送运载器信息发出控制指令至所述基站，所述基站将所述控制指令转换为光信号发送至所述搬送运载器，使得所述搬送运载器根据所述光信号改变运动状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：任大清，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：