盘状物夹持装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本发明专利技术所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中两组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体晶片工艺
，特别是涉及一种盘状物夹持装置。
技术介绍
晶片工艺中的清洗工艺是通过卡盘夹持并旋转待清洗晶片来实现对晶片表面的清洗的，现有技术中用于夹持晶片的卡盘应用最多的是销夹盘、伯努利吸盘等。在公开号为ZL200910087488. 5的专利中公开了一种利用弹簧的弹力将晶片卡紧，并利用磁铁的吸引力来打开晶片。在申请号为US5513668和US4903717的美国专利中公开了一种利用伯努利原理固定晶片的卡盘利用伯努利原理在卡盘和晶片之间形成一层气垫。利用气垫来轴向定位晶片，通过分布在晶片圆周的夹持元件来实现径向定位。 但是这些专利都有一个无法克服的缺点无法对夹持元件与晶片接触的地方进行清洗，从而影响晶片整体清洗质量。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术提供一种盘状物夹持装置，用以解决晶片清洗过程中无法清洗夹持元件与晶片接触的地方，从而影响晶片清洗质量的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转；所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘福生，张豹，王锐廷，吴仪，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：