用于圆片上光敏BCB显影的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。本实用新型专利技术解决了现有光敏BCB显影操作麻烦，显影时间不能得到有效控制从而造成光敏BCB的显影不充分或者过显的问题，使光敏BCB显影操作更加简便，BCB显影的时间得以精确控制。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于光敏BCB中显影的夹具，特别涉及一种在圆片级封装中用于光敏BCB显影的夹具，属于圆片级高频封装领域。
技术介绍
圆片级封装可以节省成本，提闻效率。而在闻频系统封装中，为了减低RC延时及功率损耗，一方面可以采用低电阻率金属，降低互连电阻，另外一方面可以降低介质层产生的寄生电容C，而后者减小互连延迟的效果更明显。降低寄生电容C带来的高频损耗可采用以下几种方式1.采用低介电常数的材料作为介质层；2.增加介质层厚度。BCB (苯并环丁烯)是一种优异的低介电常数的有机材料，具有低的介电常数、低的吸湿率、高的热稳定性和化学稳定性，以及高的薄膜平整度，低的固化温度。BCB易于与金属(铜、金和铝等)以及非金属(硅和二氧化硅等)进行粘合，在较宽的频率和温度范围内，BCB均表现出很低的介电常数和介电损耗，能够减小单位长度上的布线电容，使相邻金属间的交互串扰变得更低，从而提高信号的传输性能。BCB由于其优异的综合性能，而被广泛用于微波器件封装的介质层材料。随着BCB材料的发展以及成本控制的考虑，光敏BCB被广泛应用在多层封装工艺中，光敏BCB制备通孔的工艺省却了干法刻蚀BCB中掩膜层的制备和去除工艺，直接利用BCB的光敏特性通过曝光显影来制备通孔。现有技术中，光敏BCB的显影通常采用常规工艺，其一般步骤是I.用镊子将涂覆有光敏BCB的圆片放入盛有显影液(40°C)的烧杯中，六分钟之后用镊子将圆片夹起。2.用镊子将圆片放入常温显影液中，1-2分钟后，用镊子将圆片夹起，吹干。现有的显影方法中，将圆片从烧杯中取出时，需要不断搅拌显影液，使圆片在显影液中转动，在圆片竖立时用镊子将圆片取出，这种显影方法操作麻烦，并且由于人为的影响，光敏BCB的显影时间不能得到有效控制，有可能会造成光敏BCB的显影不充分或者过显，因此，迫切需要一种用于光敏BCB显影的夹具来精确控制BCB的显影。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，用于解决现有技术中BCB的显影难以控制的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，该夹具包括手柄、连接杆、大圆环、小圆环以及若干固定连接杆，所述大圆环与小圆环平行设置并通过所述若干固定连接杆连接；所述连接杆一端与所述大圆环连接，另一端与所述手柄连接。优选地，所述固定连接杆为四个，均匀分布在大圆环和小圆环之间。优选地，所述连接杆为2个，一端对称设置在大圆环上，另一端连接于手柄两端。优选地，所述的小圆环的半径略小于圆片的半径，所述的大圆环的半径略大于圆片的半径。优选地，所述手柄的长度大于大圆环的直径。优选地，所述手柄、连接杆、大圆环、小圆环以及固定连接杆为玻璃材质。本技术主要有益效果是通过一种用于光敏BCB显影的夹具，使光敏BCB的显影操作更加简便，显影过程更能得到有效控制。本技术解决了现有光敏BCB的显影操作麻烦，并且显影时间不能得到有效控制的问题，提供一种操作简便，能精确控制BCB显影的夹具。附图说明图I为本技术的结构示意图；图2为本技术的俯视图。元件标号说明I手柄2连接杆3固定连接杆4大圆环5小圆环具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图I至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图I所示，本技术的用于圆片上光敏BCB显影的夹具，包括手柄I、连接杆2、大圆环4、小圆环5、固定连接杆3，所述大圆环4与小圆环5通过固定连接杆3连接在一起，用于固定圆片；所述手柄I通过连接杆2与大圆环4相连接。所述的固定连接杆3优选为4个，其以90度角的间隔均匀分布在大圆环4和小圆环5之间。所述的小圆环5的半径略小于圆片的半径，所述的大圆环4的半径略大于圆片的半径，以便进行圆片的固定。所述的手柄I的长度略大于大圆环4的直径。所述的手柄I、连接杆2、大圆环4、小圆环5、固定连接杆3为玻璃材质。在进行光敏BCB显影时，分为以下两步进行1.用镊子将涂覆有光敏BCB的圆片放入夹具中，圆片被固定在两个圆环之间，握紧手柄，将夹具放入盛有显影液(40°C)的烧杯中，六分钟之后将夹具拿出。2.将夹具放入常温显影液中，1-2分钟后，将夹具拿出，用镊子将圆片取出，吹干。本技术主要有益效果是通过一种用于光敏BCB显影的夹具，使光敏BCB的显影操作更加简便，显影过程更能得到有效控制。本技术解决了现有光敏BCB的显影操作麻烦，并且显影时间不能得到有效控制的问题，提供一种操作简便，能精确控制BCB显影的夹具。综上所述，本技术有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本实用新 型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本技术所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于：该夹具包括手柄（1）、连接杆（2）、大圆环（4）、小圆环（5）以及若干固定连接杆（3），所述大圆环（4）与小圆环（5）平行设置并通过所述若干固定连接杆（3）连接；所述连接杆（2）一端与所述大圆环（4）连接，另一端与所述手柄（1）连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于该夹具包括手柄(I)、连接杆(2)、大圆环(4)、小圆环(5)以及若干固定连接杆(3)，所述大圆环(4)与小圆环(5)平行设置并通过所述若干固定连接杆(3)连接；所述连接杆(2)—端与所述大圆环(4)连接，另一端与所述手柄(I)连接。2.根据权利要求I所述的用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于所述固定连接杆(3)为四个，均匀分布在大圆环(4)和小圆环(5)之间。3.根据权利要求I所述的用于圆片上光敏BCB显影的夹具，其特征在于所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙晓玮，吕文倩，陈敏华，吴亮，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：