一种行波电极结构、光调制器及实现方法技术

本发明专利技术公开了一种行波电极结构、光调制器及实现方法，行波电极结构包括：屏蔽电极；信号电极，平行于所述屏蔽电极设置；辅助电极，并联设于所述信号电极的侧面；其中，通过调节所述辅助电极的宽度和形状及其与所述屏蔽电极之间距离，调整使行波电极的集总参数接近目标值。本发明专利技术通过在常规信号电极的单侧或两侧添设并联的辅助电极的方式，可增加行波电极的可调参数，从而有效提高了行波电极的参数设计自由度和匹配范围，能获得具有更佳折射率匹配和阻抗匹配效果的光调制器，并获得极大的优化设计空间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体集成电路光电，尤其涉及一种行波电极结构、含有行波电极结构的光调制器以及行波电极结构的实现方法。

技术介绍

1、光调制器的电极结构通常分为集总电极和行波电极两种。其中，集总电极适用于尺寸较小的器件；而对于常用的基于载流子耗尽型的马赫曾德尔调制器，由于其尺寸通常可达到毫米量级，在高频信号驱动下，必须作为分布式器件处理，故其驱动电极需要选择行波电极结构。

2、在设计光调制器的行波电极时，通常需要满足三个方面条件：第一是行波电极上具有最小的微波损耗；第二是折射率匹配，即行波电极的电信号与光信号传输速率相近；第三是阻抗匹配，即行波电极的特征阻抗需要与微波系统中标准端口阻抗兼容，减少反射损耗。因此，设计行波电极需具有较大的设计自由度和匹配范围，来调控行波电极的传输特性。

3、然而，对于目前应用比较广泛的gsg(地-信号-地)型共面波导或者gs(地-信号)型共面波导型行波电极结构而言，如图1-图2所示，只能通过变化信号线(信号电极)与地线(屏蔽电极)的电极宽度和电极之间的距离，来改变电极的传输特性，往往难以达到设计要求。...

【技术保护点】

1.一种行波电极结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极并联设于所述信号电极的单侧或两侧。

3.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极与所述信号电极平行设置。

4.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述信号电极、所述辅助电极与所述屏蔽电极共面设置。

5.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极形状包括直线型或具有周期性结构单元的组合线型。

6.根据权利要求5所述的行波电极结构，其特征在于，所述周期性结构单元包括折线组合结构或波浪线结...

【技术特征摘要】

1.一种行波电极结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极并联设于所述信号电极的单侧或两侧。

3.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极与所述信号电极平行设置。

4.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述信号电极、所述辅助电极与所述屏蔽电极共面设置。

5.根据权利要求1所述的行波电极结构，其特征在于，所述辅助电极形状包括直线型或具...

【专利技术属性】
技术研发人员：季祥海，刘林林，郭奥，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：