【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微电子装备，尤其涉及一种硅片传输系统片库设备。
技术介绍
硅片传输系统应用于光刻设备等众多半导体设备中，作为这些设备对外的物料接口，进行物料的预处理。硅片传输系统自动化程度很高，设备操作者只需作最基本的动作，其他动作由娃片传输系统完成，因此，娃片传输系统的运行必须可靠且高效。在娃片传输系统中直接对片盒进行操作的是片库设备，操作人员将片盒放置在片库设备上后就完成了物料上载的人为干预，其他动作全部由片库设备自动完成。在半导体制造业中，片盒多采用满足国际半导体设备材料产业协会SEMI标准的片盒F0UP(Front Opening Unified Pod), SEMI对片库设备也已有详细规范,片库设备对FOUP的接口有相关标准，美国专利US 6，375，403B1及US 6，641，348B1中披露的片库设备均是基于SEMI标准的设计，它们在标准FOUP接口、设备操作接口、设备布局等方面都遵循标准设计，最大化地简化了设计，形成了市场上的标准片库设备产品，对任何半导体设备，只要提供符合SEMI标准的设备安装接口并使用标准F0UP，这些片库设备产品都可以应用，...
【技术保护点】
一种硅片传输系统片库设备，用于对片盒进行操作，其特征在于，包括片库框架、片盒承载平台和片库解锁机构；所述片库解锁机构设置在所述片库框架的一表面上、靠近所述片库框架的底端；所述片库框架另一表面上设有垂向运动单元，所述片盒承载平台通过转接件与所述垂向运动单元连接，所述转接件在所述垂向运动单元的驱动下运动，带动所述片盒承载平台运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王邵玉，姜杰，田耀杰，朱建山，黄春霞，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，上海微高精密机械工程有限公司，
类型：发明
国别省市：
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