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本发明的硅片传输系统片库设备用于对片盒进行操作，该硅片传输系统片库设备包括片库框架、片盒承载平台和片库解锁机构；所述片库解锁机构设置在所述片库框架的一表面上、靠近所述片库框架的底端；所述片库框架另一表面上设有垂向运动单元，所述片盒承载平台通...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。