一种具有永磁重力支撑结构的微动台制造技术

一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定部分是空心圆柱永磁体，其空心圆柱永磁体沿轴向充磁下底面为S极，上底面为N极；支承部分由两个同轴，沿半径并指向圆心方向充磁的圆环永磁体组成；固定部分的空心圆柱永磁体与双层圆环永磁体同轴布置，并位于所述的双层圆环永磁体上方。本发明专利技术所述支承结构能够降低行程范围内沿轴线方向的刚度，同时提高承载能力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种永磁重力支撑结构的微动台，特别是集成电路加工及检测装备用的超精密工作台，属于超精密加工及测量领域。
技术介绍
在很多工业设备中，需要驱动工件或工件台进行多自由度运动，并对其进行精确定位，例如光刻机中的工件台、掩模台等设备。为实现多自由度运动及其精确定位，如果直接使用驱动电机来提供支承，就会使得驱动电机负载增加，造成电机发热增大。在很多超精密工作台中，电机发热过大，就会影响环境温度，造成非接触式测量误差，最终影响定位精度。采用永磁非接触式的重力补偿结构具有结构简单、零部件表面无需精密加工、适用于真空环境中应用等优点。对于非接触式永磁重力支撑结构，需要固定部分和支承部分之间沿 轴线方向具有较小的刚度和较大的承载力。Sven Antoin Johan Hol 在专利《Lithographic apparatus, magnetic supportfor use therein, device manufacturing method, and device manufactured thereby))(US 6831285 B2 Dec. 2004)提出了一种永磁预载重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有永磁重力支撑结构的微动台，微动台包括微动台定子和微动台动子，其特征在于：该微动台还包括至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分，所述的固定部分由一个空心圆柱永磁体（1）和一个磁钢芯轴（4）组成，空心圆柱永磁体（1）粘接在磁钢芯轴（4）上，所述空心圆柱永磁体（1）的充磁方向沿圆柱轴向方向，下底面为S极，上底面为N极；所述支承部分由一个内圆环永磁体（2）、一个外圆环永磁体（3）和一个磁钢骨架（5）组成，所述的两个圆环永磁体同轴粘接在磁钢骨架（5）上，两个圆环永磁体的充磁方向沿半径并指向圆心方向；所述的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张鸣，朱煜，刘召，许玉洁，李玉洁，田丽，张利，杨开明，徐登峰，秦慧超，王平安，尹文生，胡金，穆海华，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：