用于执行与管芯的图案对准的方法和装置制造方法及图纸

技术编号:8349514 阅读:230 留言:0更新日期:2013-02-21 07:25
公开了一种用于在直接写入机中图案化设置有管芯的工件的方法,其中相对于写入器坐标系的按照定位和朝向的管芯的位置以及工件的定位和朝向的测量数据用于确定测量位置到在直接写入机的坐标系中定义的变换位置的变换。与选定的管芯或管芯组相关的图案数据根据原始图案数据和变换位置变换成经调整的电路图案数据,其中经调整的电路图案数据表示多个管芯或管芯组的电路图案,使得经调整的电路图案配合到工件区域的多个子区域,且其中每个子区域与分布在工件上的多个管芯当中的一个管芯或管芯组相关。然后,根据经调整的电路图案数据将图案写在工件上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体涉及在产品的制造中工件的激光图案成像,包括使用激光直接成像设备的光敏表面的图案化。更具体地,本专利技术涉及用于执行与部件例如管芯的图案对准的方法和装置。本专利技术的总体背景通常的做法是以构建具有不同的电路图案的一系列层的方法来制造印刷电路板。为了这个目的,使用激光直接写入器作为成像设备的用于将电路图案写在基片上的图案生成器是公知的。扇出工艺的总体描述例如,在制造具有集成电路的印刷电路板时,以小块半导体材料的形式的多个管芯分布在例如以承载硅晶片的形式的印刷电路板工件上,其中每小块半导体材料具有功能电路。然后,管芯被覆盖另外的材料层,以在一系列制造步骤中形成集成电路。在制造工艺的过程中,在一个或多个图案化步骤中,图案在工件的选定层上生成。图案生成图案在工件的一层上生成,例如为了形成所产生的电路图案,以便耦合所需电路中的部件(例如管芯)的连接点或触点。表达方式“管芯”在本文用作对任何电子部件(例如无源部件、有源部件或与电子器件相关的任何其它部件)的通用表达方式。此类图案在写或印刷工艺中产生,在该工艺中,电路图案的图像被投影、写、印刷在覆盖工件上的传导层的表面层上。在此上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:M·沃尔斯顿PE·古斯塔夫森
申请(专利权)人:密克罗尼克麦达塔公司
类型:
国别省市:

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