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公开了一种用于在直接写入机中图案化设置有管芯的工件的方法，其中相对于写入器坐标系的按照定位和朝向的管芯的位置以及工件的定位和朝向的测量数据用于确定测量位置到在直接写入机的坐标系中定义的变换位置的变换。与选定的管芯或管芯组相关的图案数据根据原...
该专利属于密克罗尼克麦达塔公司所有，仅供学习研究参考，未经过密克罗尼克麦达塔公司授权不得商用。

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