用于执行图案对准的方法和装置制造方法及图纸

公开了一种在一系列写入机中图案化工件的多个层的方法，其中归因于不同机器的不同变换能力的误差通过将误差分配在多个层上来补偿。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于执行针对多个层中的图案的图案对准的方法和装置。专利技术概述通过提供根据所附权利要求的方法和/或装置和/或计算机程序产品来达到总体 目标和解决问题。本专利技术可适用于在产品的制造中工件的激光图案成像，其中产品的制造包括使用激光直接成像设备图案化表面。例如，通过在表面上投影、写入或印刷图案的图案化可包括曝光光刻胶或其它光敏材料、通过光学加热来退火、侵蚀、通过光束产生对表面的任何其它改变，等等。这样的产品的实例是印刷电路板PCB、基片、柔性辊轧基片、柔性显示器、晶片级封装WLP、柔性电子器件、太阳电池板和显示器。本专利技术目的在于在直接写入机中为具有管芯的此类产品图案化工件上的此类光敏表面，其中工件可以是表面层的任何承载件，使用激光直接成像系统可将图案印刷在该表面层上。根据本专利技术，通过将误差分配在多个层上而对归因于不同机器的不同变换能力的误差进行补偿，使得问题得以解决。本专利技术解决了最小化可能从一个层到另一层出现的误差的问题方面，并可应用在具有或没有嵌入式管芯的工件上。本专利技术用在被配置用于例如在直接写入机中图案化工件的多个层的方法、装置系或计算机程序产品中。附图简述将参考附图进一步解释本专利技术，其中附图说明图1示意性示出在扇出晶片级封装工艺的现有技术工艺描述中的嵌入式管芯的图2示意性示出分布有管芯的工件的实例。图3示意性示出用于对准到单独的管芯或管芯组的现有技术方法的实例。图4示意性示出管芯上的对准标记的实例。图5A-B示意性示出根据本专利技术的对单独管芯的局部图案适应的实例。 图6示出根据本专利技术的实施方案的方法的流程图。图7示出根据本专利技术的实施方案的局部坐标系的调整的实例。图8示意性示出分布有管芯的工件的实例，其示出根据工件的形状的管芯的局部统和/实例。和全局定位和朝向。图9A示出根据本专利技术的实施方案的使图案对准管芯的方法的流程图。图9B示意性示出方框图，其说明根据本专利技术的用于图案化工件的装置的实施方案。图9C示出封装中的3D系统的实例。图1OA在工件的顶视图中示出图案的一部分如何连接到管芯的连接点的实例。图1OB示出图1OA中的实例的侧视图。图1lA-B在顶视图和侧视图中示出第一工件层中的管芯如何与同一或不同工件的第二层中的管芯叠加。图1lC示出对准图案与多个层中的特征的流程图。图12示出在设计(CAD)域中的图案。图13示出在图案被调整到每个管芯的变换之后的实例。图14是所识别的特别区和延伸区的图示。图15示出CAD域中的另一图案。图16A示出不使用延伸区概念的图案，且其中只有单独的变换应用于图案。图16B示出当延伸区概念用于重新连接区域时的示例性图案，这些区域使用特别区之间的线性连接而连接在理想(原始)坐标系中。图17A示出不使用延伸区概念的示例性图案，且其中只有单独的变换应用于图案。图17B示出当延伸区用于重新连接区域时的示例性图案，这些区域使用单独变换 之间的线性组合连接在理想(原始)坐标系中。图18示出额外的区域被机器自动地或在图案文件中识别或标记的实例。图19A示出第三区域不被应用的实例。图19B示出第三区域被应用的实例。图20A示出没有补偿的示例性印刷图案。图21A-21B示出示例性变换图谱。图22A示出使用补偿的示例性印刷图案。图22B示出根据本专利技术的实施方案的使用特别区概念的方法的流程图。图23示出示例性变换。图24A示出在第一层中的管芯的放置。图24B-C示出与图24A的第一层中的管芯对准的在第二层中和第N层中的图案。图25示出穿过多个层的图案的变换的序列。图26示出管芯的基准位置。图27示出具有多个层的工件的横截面图。图28示出具有多个层的工件的横截面图。在本文中使用的术语和实施方案的解释工件为了此申请文本的目的，术语“工件”用于命名表面层的任何承载件，可使用激光 直接成像系统将图案印刷在该表面层上。例如印刷电路板工件的硅基片或硅晶片，或有机 基片。工件可以有任何形状例如圆形、矩形或多边形，以及任何尺寸的片(或块)或卷筒状。管芯为了此申请文本的目的，术语“管芯”用于命名无源部件、有源部件或与电子器件 相关的任何其它部件。例如，管芯可以是一小块半导体材料，在其上面制造给定的功能电 路。局部对准为了此申请文本的目的，术语“局部对准”用于命名相对于单独的管芯上或管芯组 上的对准特征(例如对准标记)的对准。全局对准为了此申请文本的目的，术语“全局对准”用于命名相对于工件上的对准特征(例 如对准标记)的对准。各种解释在附图中，层和区域的厚度为了清楚起见而被放大。相似的数字在附图的描述中 始终指相似的元件。本文公开了详细的例证性实施方案。然而，为了描述示例性实施方案的目的，本文 公开的特定结构和功能细节仅仅是表示性的。示例性实施方案可以以很多可替代形式体现，且不应被理解为仅限于本文阐述的示例性实施方案。然而应理解，没有将示例性实施方案限制到所公开的特定实施方案的意图，而是相反，示例性实施方案涵盖适当的范围内的所有修改、等效和替代形式。将认识到，虽然术语“第一”、“第二”等在本文用于描述各种元件，这些元件不应被这些术语所限制。这些术语仅仅用于区分开一个元件与另一元件。例如，第一元件可以称为第二元件，且类似地，第二元件可称为第一元件，而不背离示例性实施方案的范围。如本文使用的，术语“和/或”包括相关的列出项目中一个或多个的任一个和所有组合。将理解，当元件被提到为“连接”或“耦合”到另一元件时，该元件可以直接连接或耦合到另一元件，或者可能存在介于两者中间的元件。相对地，当元件被提到为“直接连接” 或“直接耦合”到另一元件时，则不存在介入其间的元件。用于描述元件之间的关系的其它词语应以类似的方式被理解(例如，“在…之间”相对于“直接在…之间”、“相邻”相对于“直接相邻”等)。本文使用的术语仅仅是为了描述特定的实施方案的目的，而不是为了限制示例性实施方案。如本文使用的，单数形式“a”、“an”和“the”用来也包括复数形式，除非上下文另外清楚地指示。将进一步理解，·术语“包括(comprises)”、“包括(comprising)”、“包括 (includes)”和/或“包括(including)”当在本文被使用时指定所陈述的特征、整体、步骤、 操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其组合的存在或添加。也应注意，在一些替代的实现中，所提到的功能/操作可不按在附图中提到的顺序出现。例如，连续示出的两个数字实际上可大体上同时被执行，或有时可按相反的顺序执行，这取决于所涉及的功能/操作。不例性实施方案涉及工件(例如基片或晶片)的扫描，以便读和与图案和/或图像。 示例性实施方案还涉及测量工件。示例性基片或晶片包括平板显示器、印刷电路板(PCB)、 柔性印刷电路板(FPB)、柔性电子器件、印刷电子器件、用于封装应用的基片或工件、光伏板坐寸ο根据示例性实施方案，应在广泛的意义上理解读和写。例如，读操作可包括相对小或相对大的工件的显微镜检查、查验、计量、光谱检查、干涉测量、散射测量等。写可包括曝光光刻胶或其它光敏材料、通过光学加热来退火、侵蚀、通过光束产生对表面的任何其它改变7等等。实施方案的详细描述本专利技术体现在用于图案化工件的方法、装置和计算机程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.02.26 US 61/282,547;2010.03.01 US 61/282,561;1. 一种在一个或多个写入机中在一系列写循环中图案化工件的多个层的方法，所述方法在所述工件的第一层N上写第一图案时应用，其中在将随后层N+1的第二图案配合到所述第一层时可用准确度的边界条件被确定； 所述方法包括下列步骤 a.接收关于在对所述随后层N+1执行所述第二图案的有限变换时的限制的先验信息； b.计算1.呈现对前一层N-1的最佳配合的所述第一层N的所述第一图案的最佳配合变换，所述最佳配合变换使用对在所述第一层N上写可用的对准变换来计算；以及 i1.所述最佳配合变换与完美配合的偏差； c.计算 1.在对所述第二层N+1的所述第二图案变换以将朝向配合到所述前一层N-1时应用的有限变换，以及 i1.所述有限变换与完美配合的偏差； d.计算所述最佳配合变换和所述有限变换之间的所述偏差中的差异； e.通过加上所述偏差中的所述差异的可选择部分来计算所述最佳配合变换的补偿； f.计算包括所述补偿的经调整的第一图案； g.验证所述经调整的第一图案在所述第一层N的对准容差内； h.如被肯定地验证，则将所述经调整的第一图案写在所述第一层N上。2.如权利要求1所述的方法，其中N个层将被图案化，N是>1的整数。3.如权利要求1到2中任一项所述的方法，其中计算变换的步骤在对准过程中被执行。4.如权利要求1到3中任一项所述的方法，其中在执行所述有限变换中的所述限制被估计。5.如权利要求1到4中任一项所述的方法，其中在偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择为 -偏差中的整个差异，例如当需要对准中的高精确度时。6.如权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述偏差中的所述差异的所述可选择部分被选择，使得所述偏差中的所述差异局部地分布在层的子集之间，例如使得对层N补偿图案的第一子集的偏差中的差异，并对层N+1补偿图案的第二子集的偏差中的差异。7.如权利要求1到6中任一项所述的方法，其中 a.多个数据集合中的每个表示单独的图案变换，其被单独地重新采样并以位图格式存储； b.对所述数据集合重新采样以在计算经调整的图案的步骤中配合层的图案； c.在步骤b之前或之后可选地将所述数据集合的选择合并成单个数据集合。8.如权利要求1到7中任一项所述的方法，其中所述偏差中的所述差异的分布包...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·沃尔斯登，T·奥斯特罗姆，PE·古斯塔夫森，
申请(专利权)人：密克罗尼克麦达塔公司，
类型：
国别省市：