十字形写入策略制造技术

技术编号:9089150 阅读:145 留言:0更新日期:2013-08-29 02:27
一般来说,所描述的技术的一个方面可以体现于包括以下操作的方法中:应用写入机构,所述写入机构具有由在扫描方向和交叉扫描方向上的不同程度的相干相互作用所产生的各向异性写入性质;使用所述写入机构在工件上写入图像图案两次,所述写入机构在第一写入与第二写入之间相对于在所述工件上写入的所述图像图案来旋转,借此用所述旋转的写入机构进行写入使所述各向异性性质得以平均化。将工件与写入机构之间的第一相对运动方向与第二相对运动方向分开的较小夹角在本文所描述的条件下可以是20度或更大,或略微较小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:T·桑德史托姆
申请(专利权)人:密克罗尼克麦达塔公司
类型:
国别省市:

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