一种具有永磁重力补偿结构的微动台制造技术

一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个永磁单元由永磁体和轭铁组成，永磁体镶嵌在轭铁中，永磁体骨架与微动台定子固定在一起；支承部分由位于固定部分的正下方的导磁板组成，并与微动台动子连接在一起。本发明专利技术所述重力补偿结构具有闭合的磁路，减少了重力补偿结构对周围环境的干扰，并且增加了重力补偿结构与磁浮工件台大行程运动台的halbach磁钢阵列的距离，从而减小了halbach磁钢阵列的磁场对微动台动子的重力补偿效果的影响。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种永磁重力补偿结构的微动台，特别是集成电路加工及检测装备用的超精密工作台，属于超精密加工及测量领域。
技术介绍
在很多工业设备中，需要驱动工件或工件台进行多自由度运动，并对其进行精确定位，例如光刻机中的硅片台、掩模台等设备。为实现多自由度运动及其精确定位，如果直接使用驱动电机来提供支承，就会使得驱动电机负载增加，造成电机发热增大。在很多超精密工作台中，电机发热过大，就会影响环境温度，造成非接触式测量误差，最终影响定位精度。采用永磁非接触式的重力补偿结构具有结构简单、零组件表面无需精密加工、适用于真空环境中应用等优点。对于非接触式永磁重力补偿结构结构，需要固定部分和支承部分之间沿轴线方向具有较小的刚度和较大的承载力。·Sven Antoin Johan Hol 在专利《Lithographic apparatus, magnetic supportfor use therein, device manufacturing method, and device manufactured thereby))(US 6831285B2Dec. 2004)提出了一种永磁预载重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子和微动台动子,其特征在于：该微动台还包括永磁重力补偿结构，所述的永磁重力补偿结构由固定部分和支撑部分组成，所述的固定部分包括至少四个永磁单元和一个永磁体骨架（6），所述的至少四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架（6）上；每个永磁单元由一个永磁体（1）和一个轭铁（3）组成，永磁体（1）镶嵌在轭铁（3）中，所述的永磁体（1）的充磁方向沿Z轴方向，下底面为S极，上底面为N极，所述的永磁体骨架（6）与微动台定子（5）固定在一起；所述的支承部分由一块导磁板（2）组成，所述的导磁板（2）位于固定部分的正下方，并与微动台动子（4）连接在一起。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张鸣，朱煜，刘召，许玉洁，李玉洁，田丽，张利，杨开明，徐登峰，秦慧超，王平安，尹文生，胡金，穆海华，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：