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一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个永磁单元由永磁体和轭...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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