温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种具有永磁重力支撑结构的微动台，主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元，所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘；每个永磁重力支撑单元含有固定部分和支撑部分；所述固定...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。