【技术实现步骤摘要】
本技术关于属于溅射设备靶极冷却装置，具体涉及一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置。
技术介绍
本技术系为一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，薄膜设备靶极冷却水循环系统是极为重要的一部分，负责将溅射等离子体靶材产生的高温藉由冷却铜背板内的循环冷却水系统将热源带到冷却系统后冷却，使靶材能在等离子体轰击下保持一定的温度，否则靶材会因高温融化或破裂而无法在进行等离子体轰击，导致无法沉积薄膜，如此一来就需要更换新的靶材或拆卸下进行修复，不仅耗费成本也增加设备停机维修的时间。现有技术使用介质设置于铜背板与靶极中间，使用间接冷却的方式，藉由靶极内部通入冷却水循环方式产生冷源，而中间的介质最为温度的传递以冷却铜背板上接合的靶材，然而现有技术的冷却方式对于高功率的溅射模式下会有冷却能力不足的现象，造成靶材落裂或是焊接脱落。
技术实现思路
本技术主要目的系提供一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，本技术采用的方案是；靶材置于铜背板下方并进行焊接，使靶材背面紧密贴和在铜背板上，确保冷却能顺利进行，不会因空隙产生多馀的热阻，影响冷却效果，铜背板正面设置水路系统，包括一进水口极一出水口，铜背板内部设置5个水道且水道头尾相通，使冷却水能顺利流通，各水道头尾设置有长方形凹槽，能使水流加速，水道隔间条上设置有橡胶密封圈，使水道能照设置的流向前进，不会产生水压及流速的损失，当冷却水由进水口流入后，就顺着水道前进，一直到出水口流出，其中接触铜背板的时间及长度增加了冷却能力，使靶极能充分冷却，达到正常的工作温度，同时也冷却了靶材，使溅射设备保持持续的工作状态，减少维修的时间。附图说明图I系为...
【技术保护点】
一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，包括铜背板主体11、进水口12、水道13、长方形凹槽14及出水口15所组成。
【技术特征摘要】
1.一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，包括铜背板主体11、进水口 12、水道13、长方形凹槽14及出水口 15所组成。2.根据权利要求I所述之一种薄膜溅射设备靶极冷却铜背板冷却装置，其特征在于，所述铜背板主体厚度为25m...
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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