一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座；本实用新型专利技术将晶圆切割机底座改为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座，人造花岗岩或人造大理石的温差系数低、不容易变形，人造花岗岩或人造大理石的防震性能优越，有利于提高晶圆切割机的稳定性和加工精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆切割机
，尤其涉及一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构。
技术介绍
晶圆切割机又称为划片机，主要用于半导体行业中将硅片及各类陶瓷材料的切割成小块，晶圆切割机通过配备底座、精密直线导轨和高精密主轴等精密部件，保证晶圆切割机在生产中所需要的精度。现有的晶圆切割机的底座一般采用铸铁或钢材制成，这种由铸铁或钢材制成的底座存在温度影响而变形、减震和防震效果不理想等缺陷，需要进一步改进。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本技术提供了一种能够有效防震、不易受温度影响而变形的防震不易变形的晶圆切割机底座结构。本技术为达到上述技术目的所采用的技术方案是一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座。所述底座的厚度为80mm以上。本技术的有益效果是采用上述结构，将晶圆切割机底座改为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座，人造花岗岩或人造大理石的温差系数低、不容易变形，人造花岗岩或人造大理石的防震性能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其特征在于：包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔，所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体式底座。

【技术特征摘要】
1.一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构，其特征在于包括设于晶圆切割机中的底座，所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台，所述导轨安装凸台上设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建文，
申请(专利权)人：福州胜忆电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：