【技术实现步骤摘要】
本技术属于硅片生产加工
,主要涉及一种新型多线切割机晶托防护栏。
技术介绍
多线切割是一种利用金属丝的高速往复运动,通过收放线轮及线网框架,形成上下两个纵横线网,砂浆通过砂浆管覆盖在线网上,高速运转的线网向下压入硅材料加工区域进行切割,将硅材料一次同时切割为多份。多线切割机晶托是一种长、宽尺寸相同的方形体,晶托上下表面均为平面,在晶托的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的凹线槽,凹线槽把晶托分割成了 36个大小一致的内部正方形底块,24个外边缘矩形底块及4个边角正方形底块,通过泡沫缝合剂把硅材料粘接到晶托上,同时在晶托四周装上防护板,然后送进加工室,加工成36块边长为156.8mm的硅材料成品棒。但在实际生产中,由于晶托四周的防护板长期在砂浆中作业,并频繁装卸,而防护板的结构是只有底部相连,特别容易断裂,造成防护板损坏。同时也容易造成晶托上固定防护板的紧固螺丝失效,特别是晶托上的紧固螺丝丝孔破坏时,则无法固定防护板,当硅材料加工到尾部的时候,硅材料四周的边皮就会向外倾倒,如果砸到钢线上,就会造成钢线断线;如果砸到多线切割机主辊上,就会瞬间磨坏高速 ...
【技术保护点】
一种新型多线切割机晶托防护栏,其特征是:所述的一种新型多线切割机晶托防护栏由圆孔(3)和不锈钢圆棒(4)构成;在晶托(1)上的每一块外边缘矩形底块(2)表面中心位置加工有直径尺寸为10mm、深度尺寸为35mm的圆孔(3);圆孔(3)内插有长度尺寸为30mm、直径尺寸为9mm的不锈钢圆棒(4)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:寇文杰,崔小换,魏海霞,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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