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一种新型多线切割机晶托防护栏制造技术
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文档序号:11919785
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一种新型多线切割机晶托防护栏,适用于硅片生产加工过程中硅材料四周边皮向外倾倒所产生的不安全隐患。本实用新型采取在多线切割机晶托(1)上的每一块外边缘矩形底块(2)表面中心位置加工圆孔(3),在圆孔(3)内插入不锈钢圆棒(4),构成在晶托(1...
该专利属于麦斯克电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦斯克电子材料有限公司授权不得商用。
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