下载一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构的技术资料

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本实用新型公开了一种防震不易变形的晶圆切割机底座结构,其包括设于晶圆切割机中的底座,所述底座上设有用于固定晶圆切割机X轴、Y轴精密直线导轨的导轨安装凸台,所述导轨安装凸台上设有精密直线导轨固定孔,所述底座为由人造花岗岩或人造大理石制成的一体...
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