提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件制造技术

本实用新型专利技术提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接；靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封；本实用新型专利技术具有的有益效果是：卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板（靶材快要烧蚀穿的时候才用）和靶材伸缩套形成的连接方式，省却了在靶材上加工大直径螺纹（螺纹约占靶材厚度的30%左右）的弊端，提高了靶材利用率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种离子镀膜装置的水冷电弧蒸发组件

技术介绍
电弧离子镀膜技术是现代材料表面技术中的一个重要组成部分。电弧蒸发组件中贵金属靶材则是个消耗件，所以靶材的利用率是电弧蒸发组件性能优劣的一个重要指标。目前，国内电弧离子镀装置电弧蒸发组件中1.需在靶材一端打孔加工与组件连接的大直径内螺纹，由于内螺纹的存在降低了靶材利用率；2.靶材冷却水进水没有直接引射到靶材上，导致靶材冷却效率降低；3.没有靶材消耗后的顶推补偿机构，导致靶材消耗后引弧杆与靶面距离增大且调整困难；4.靶面的磁场强度调节范围较小。·
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术中的缺陷而提供的一种直冷式电弧蒸发组件。通过改进水冷电弧蒸发组件结构，来有效解决靶材利用率低、靶材消耗后的顶推补偿和靶材在电弧放电中的充分冷却和靶材表面磁场强度的调节。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母本文档来自技高网...

【技术保护点】
提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材（1）和磁环调节杆（22）以及磁环（23），其特征在于，磁环（23）固定在磁环调节杆（22）上，磁环调节杆（22）内有供冷却水通过的中空结构，磁环（23）的前端是靶材（1）；螺纹法兰(4)和靶材伸缩套(13)用螺纹连接并用定位螺钉(5)定位，将弹性卡圈(3)套入靶材(1)的凹槽中然后将卡套螺母(2)套在弹性卡圈(3)上与螺纹法兰(4)相连接；靶材（1）与靶材伸缩套（13）之间通过橡胶密封圈（6）密封；调节螺母（14）与固定螺纹座（12）的啮合连接；磁环调节杆（22）的中空结构分别与出水嘴（16）和进水管相通；出水嘴（16）与磁环调节杆（22）之间设有...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐树深，梅丽文，张韬，
申请(专利权)人：兰州理工大学温州泵阀工程研究院，
类型：实用新型
国别省市：