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本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然...
该专利属于兰州理工大学温州泵阀工程研究院所有，仅供学习研究参考，未经过兰州理工大学温州泵阀工程研究院授权不得商用。

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