真空镀膜机转动机构制造技术

一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成，该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环，该上托架中部固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环转动的滚轮，该马达驱动紧配于该下环内边缘的驱动滚轮连带该下环转动，该上托架由上内环、上外环和多个辐条组成，该上内环固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该多个辐条两端分别连接该上内环和上外环，并呈辐射状分布，该上外环与该下环之间通过多个并行的该直立杆连接固定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空镀膜设备，特别涉及一种通过转换镀膜工件位置实现蒸发镀膜的加工设备。
技术介绍
真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。对于蒸发镀膜，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片(或称工件)表面，通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要取决于工件材料与靶材的晶格匹配程度；工件表面温度；靶材蒸发功率和速率；镀膜真空度；镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度，以及靶材蒸发条件后，就需要按照工件特定要求，需要通过合理设置的传机构来连续转换镀膜工件位置，才能确保工件镀膜质量，尤其对于如汽车轮毂之类的大型工件显得特别重要。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本专利技术提供一种真空镀膜机转动机构，通过连续调整镀膜工件位置达到工件镀膜均匀度，提高了效率。本专利技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达(22)，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环(5)，该上托架中部固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆(6)连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环(5)转动的滚轮(4)；2)该马达(22)驱动紧配于该下环(5)内边缘的驱动滚轮(21)连带该下环(5)转动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄水祥，
申请(专利权)人：御林汽配昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：