拉制1.6米单晶棒工艺制造技术

本发明专利技术涉及一种拉制1.6米单晶棒工艺，将硅熔融液放置在石英坩埚，并使石英坩埚以规定的转速进行旋转，将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段：4段30长度段温度-9-1度，单晶棒拉速1.35-1.27，埚升速0.136-0.131；1段60长度段温度为2度，拉速为1.25，埚升速为0.129；3段150长度段温度为2度，拉速1.24-1.2，埚升速0.127-0.122；2段120长度段温度为2度，拉速1.18-1.16，埚升速0.119-0.115；3段100长度段温度为3度，拉速1.14-1.1，埚升速0.111-0.104；3段80长度段温度4-5度，拉速1.08-1.04，埚升速0.1-0.09；4段50长度段温度5-6度，拉速1.02-0.95，埚升速0.086-0.072；长度段单位为mm，拉速、埚升速的速度单位为min/mm。通过本工艺能够有效的提高单晶棒的生产速度，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种拉制I. 6米单晶棒工艺。
技术介绍
目前，对与单晶棒的拉制有许多种的方法，但是拉制时的参数直接能影响到单晶棒产品的质量。这些参数中主要包括有温度、单晶棒拉速以及石英坩埚的埚升速。如何通过控制该升速来提高单晶棒的拉制质量，仍然存在很大的提升空间。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种拉制I. 6米单晶棒工艺。为达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是· 一种拉制I. 6米单晶棒工艺，将硅熔融液放置在石英坩埚，并使石英坩埚以规定的转速进行旋转，将待拉制I. 6米的单晶棒分成若干个长度段4段30_、1段60_、3段150_、2段120mm、3段100mm、3段80mm以及4段50mm，在拉制过程中， 4段30mm长度段的温度从_9度升至I度，单晶棒的拉速从I. 35降至I. 27，埚升速从O. 136 降至 O. 131 ； I段60mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速为I. 25，埚升速为O. 129 ； 3段150_长度段的温度为2度，单晶棒的拉速从I. 24降至I. 2，埚升速从O. 127降至O. 122 ； 2段120mm长度段的温度为2度，单晶棒的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拉制1.6米单晶棒工艺，将硅熔融液放置在石英坩埚，并使石英坩埚以规定的转速进行旋转，将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段：4段30mm、1段60mm、3段150mm、2段120mm、3段100mm、3段80mm以及4段50mm，其特征在于：在拉制过程中，4段30mm长度段的温度从？9度升至1度，单晶棒的拉速从1.35降至1.27，埚升速从0.136降至0.131；1段60mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速为1.25，埚升速为0.129；3段150mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速从1.24降至1.2，埚升速从0.127降至0.122；2段120mm长度段的温度为2度，单晶棒的拉速从...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈春成，戚建静，
申请(专利权)人：苏州东泰太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：