【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶硅拉制过程中的原料再次投放装置,具体涉及一种单晶拉制加料装置。
技术介绍
直拉法是目前制备单晶硅的主要方法,相应设备是直拉单晶炉。直拉法生产单晶硅棒的主要过程为将石英坩埚装入石墨坩埚内,并一起置于加热器中。而多晶硅原料装入英坩埚中。将炉内空气抽出、加热使硅料融化后,通过升降机将籽晶浸入硅熔液内,再经过引晶、转肩、放肩、等径、收尾等一系列过程完成单晶硅棒的拉制。由于单晶硅拉制条件的严格及特殊性,在使用单晶直拉炉制备单晶硅仍存在每一次生产只能作一次性投料,而其中石英坩埚是一次性耗材,投料的不足导致耗材的使用率过低,且石英坩埚价格昂贵,造成成本过髙;同时,由于每生产一炉都需要停炉,投料的不足导致设备利用率过低的问题。国内目前已有一些能解决上述问题的装置,如专利号为ZL97250230.0的技术专利公开了一种直拉单晶炉单晶生产投料装置。它包括一个圆台状的筒体和设置在筒体底部的若干扇扇形门,以及位于筒体中心轴位置上的控制杆及其保护套四部分。筒体上设有定位圈、掺杂器;保护套由连接在筒体上的加强筋定位;控制杆下端是铁钉的尾部状结构,顶端设有连接槽和连接孔。该 ...
【技术保护点】
一种单晶拉制加料装置,包括筒体(3),筒体中心有活动拉杆(1),其特征在于筒体的下端头为敞口,所述拉杆的下端部连接有托碗(4),托碗可将筒体的下端头敞口封闭。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:董卫昌,李广杰,任林生,
申请(专利权)人:新疆新能源股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:65[中国|新疆]
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