一种单晶炉移动热屏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及生长单晶半导体材料的单晶炉的移动热屏装置。该装置由热屏、热屏拉杆、波纹管、滚珠丝杠座、伺服电机等组成。热屏通过支架与热屏拉杆连接固定，热屏拉杆和超高真空波纹管及滚珠丝杠座连接固定，两个伺服电机同步驱动两个滚珠丝杠，螺母与其固定在一起的滚珠丝杠座、热屏拉杆和超高真空波纹管一起上下运动，由此驱动热屏上下运动。热屏可在其行程范围内任意位置悬停，在硅单晶生长时也可将热屏搁置在保温筒上。水冷套固定在上炉体上端面上。可移动的热屏和固定的水冷套显著改善了热场的纵向温度梯度，使硅单晶生长速率提高了１５％～２０％，电源消耗功率降低了２５％～３０％。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种单晶炉移动热屏装置，其特征在于由热屏、热屏拉杆、超高真空波纹管、导向杆、滚珠丝杠、滚珠丝杠座、热屏行程控制机构、伺服电机经连接组成，其中，热屏（２４）位于上炉体（２２）内，上炉体（２２）两侧肩部对称设置２个水平法兰（２７），法兰（２７）中心处开有供热屏拉杆（３）上下运动的通孔，热屏拉杆（３）下端穿过法兰（２７）上的通孔，并穿入上炉体（２２），与热屏（２４）连接，热屏拉杆（３）上端穿过超高真空波纹管（４）与滚珠丝杠座（７）固定；超高真空波纹管（４）下端与上炉体（２２）上的法兰（２７）固定连接，上端与滚珠丝杠座（７）连接；导向杆（５）下端也固定于法兰（２７）上，上端与支撑安装伺服电机（１３）用的电机座（１０）连接；伺服电机（１３）经过减速器（１４）与滚珠丝杠轴联器（１２）连接，减速器（１４）通过螺钉固定于电机座（１０）上；滚珠丝杠（６）设置于导向杆（５）旁侧，其上端部与滚珠丝杠座（７）固定连接，并穿过滚珠丝杠座（７）、通过滚珠丝杠轴承座（１１）与滚珠丝杠联轴器（１２）连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周鸿军，忻礼华，程旭兵，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]