【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体生长炉，具体涉及线圈升降机构。
技术介绍
1、lpe(液相法)碳化硅单晶生长炉是通过液相外延法长晶的制造设备，其生长方法主要为在高温环境下将碳溶入纯硅溶液，并通过在溶液中添加金属助溶剂提高碳的溶解度。然后对熔化的过饱和的溶液稍做降温，使之产生一定的过冷度，用一根固定在籽晶轴上的碳化硅单晶体，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，碳化硅单晶不断析出，晶体便会在籽晶下端生长。
2、通常碳化硅炉使用的线圈在固定位。随着晶体的生长，坩埚和籽晶位置会有变化，而线圈的位置不变，无法配合晶体生长界面的变化。
3、目前已存有线圈升降机构，比如公开号为cn217733351u公开了一种晶体炉感应线圈升降机构，该专利适用于设置在密封腔外围的线圈升降，但是，无法实现设置在炉腔外的升降机构如何在驱动设置在炉腔内的线圈升降时，实现密封保护。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本技术提供波纹套密封形线圈升降机构，已解决上述至少一个技术问题。
2、本技术的技术方案是：波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，其特征在于，所述线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，所述支撑板设置在密封炉腔的下方，所述支撑板与所述线圈组件之间通过所述支撑杆相连；
3、所述支撑杆的外围套设有第一波纹管，所述第一波纹管的上端与所述密封炉腔的底部相连，所述第一波纹管的下端与所述支撑板相连；
4、所述线圈组件包括延伸出
5、所述铜电极的外围套设有第二波纹管，所述第二波纹管的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述第二波纹管的底部与所述支撑板相连；
6、所述升降驱动机构与所述支撑板传动连接。
7、本技术在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动。
8、进一步优选地，所述第二波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
9、所述第二波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈。
10、进一步优选地，所述绝缘套与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
11、所述第一波纹管与所述密封炉腔的连接处设置有密封圈，所述第一波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈。
12、进一步优选地，所述升降驱动机构包括丝杆螺母机构以及支撑架，所述支撑架上安装有所述丝杆螺母机构，所述丝杆螺母机构的丝杆穿过所述支撑板，且所述支撑板上安装有所述丝杆螺母机构的螺母。
13、进一步优选地，所述支撑架上还安装有导向组件，所述导向组件包括滑动连接的导向光轴以及直线轴承，所述直线轴承安装在所述支撑板的四个角部，所述导向光轴的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述导向光轴的底部与所述支撑架可拆卸连接。
14、进一步优选地，所述丝杆螺母机构设置有两组，两组丝杆螺母机构安装在所述支撑板的相对侧。
15、进一步优选的，四个导向组件中两两为一组导向组件组，同一组导向组件组的两个导向组件的中央安装有一个所述丝杆螺母机构。
16、进一步优选的，所述线圈组件包括螺旋设置的线圈、上环体以及下环体，所述上环体以及下环体上下设置，所述上环体与所述下环体通过竖直设置的连接杆相连；
17、所述线圈与所述连接杆可拆卸连接；
18、所述下环体与所述支撑杆可拆卸连接。
19、进一步优选的，所述下环体的相对侧开设有用于避让所述铜电极的缺口。
20、有益效果：
21、在保证密封效果的前期下，通过位于密封炉腔外的升降驱动机构对密封炉腔内的线圈进行驱动；结构紧凑，运行平稳。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，其特征在于，所述线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，所述支撑板设置在密封炉腔的下方，所述支撑板与所述线圈组件之间通过所述支撑杆相连；
2.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述第二波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
3.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述绝缘套与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
4.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括丝杆螺母机构以及支撑架，所述支撑架上安装有所述丝杆螺母机构，所述丝杆螺母机构的丝杆穿过所述支撑板，且所述支撑板上安装有所述丝杆螺母机构的螺母。
5.根据权利要求4所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述支撑架上还安装有导向组件，所述导向组件包括滑动连接的导向光轴以及直线轴承，所述直线轴承安装在所述支撑板的四个角部，所述导向光轴的顶部与所述密封炉腔的底部相连，所述导向光轴的底部与所述支撑架可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.波纹套密封形线圈升降机构，包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构，其特征在于，所述线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板，所述支撑板设置在密封炉腔的下方，所述支撑板与所述线圈组件之间通过所述支撑杆相连；
2.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述第二波纹管与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
3.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述绝缘套与所述支撑板的连接处设置有密封圈；
4.根据权利要求1所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述升降驱动机构包括丝杆螺母机构以及支撑架，所述支撑架上安装有所述丝杆螺母机构，所述丝杆螺母机构的丝杆穿过所述支撑板，且所述支撑板上安装有所述丝杆螺母机构的螺母。
5.根据权利要求4所述的波纹套密封形线圈升降机构，其特征在于：所述支撑架上还安装有导向组件，所述导向...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐淑文，贺贤汉，夏孝平，彭文井，谢东元，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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