【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉,具体的,涉及一种具有自动加料功能单晶炉。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、中国专利公开了电弧炉自动加料装置,公开号为cn207944120u,文中提出“包括第一加料装置、分料装置、第二加料装置和控制装置,第一加料装置、分料装置和第二加料装置依次连接,第二加料装置与电弧炉的进料口相连接,第二加料装置中设置有第一导向槽,第一导向槽呈阶梯状,第一加料装置的下方设置有缓冲仓,缓冲仓与第一加料装置通过输料管相连接,输料管中设置有挡板,挡板与控制装置相连接”;且该加料装置仅对上料过程中的原料进行阶段性的输送,当有低温材料进入单晶炉本体后,便会导致其坩埚内部融化的原料产生影响,从而对单晶体的成型造成影响,且该加料装置会由于原料的输送,导致原料携带外部气体进入单晶炉本体内部,对单晶炉本体内部加热的原料造成影响,继而降低了整体单晶炉通过加料装置的加料效果。
技术实现思路
1、本技术提出一种具有自动加料功能单晶炉,解决了相关技术中的在使用过程中加料装置会由于原料的输送,导致原料携带外部气体进入单晶炉本体内部,对单晶炉本体内部加热的原料造成影响的问题。
2、本技术的技术方案如下:
3、一种具有自动加料功能单晶炉,包括单晶炉本体,所述单晶炉本体包括炉体、炉盖、坩埚、加热环、炉筒、提拉头,所述炉体的外侧四周固定安装有加料柱,四个所述加料柱的底端一侧连通有
4、优选的,所述真空座的内部分别转动连接有抽取转杆和过渡转杆,所述抽取转杆的顶端和过渡转杆的一端均固定安装有第一锥形齿轮,所述过渡转杆的另一端滑动连接有转动轴。
5、优选的,所述加料柱的顶端内侧分别转动连接有第一顶杆和过渡转环,所述第一顶杆的底端和过渡转环的另一端固定安装有第二锥形齿轮,其中一个所述第二锥形齿轮的一端与转动轴的另一端固定连接。
6、优选的,所述加料柱的顶端和底端外侧固定安装有顶环和底环,其中一个所述顶环和底环的顶部内侧分别转动连接有第二顶杆和底杆。
7、优选的,所述第二顶杆和第一顶杆的顶端均固定安装有第一齿轮,所述第一齿轮的外侧齿合连接有第一齿环,所述第一齿环的外侧分别与加料柱和顶环的内侧壁转动连接,所述第二顶杆的顶端固定安装有第一电机。
8、优选的,所述底杆和挤出螺杆的底端均固定安装有第二齿轮,所述第二齿轮的外侧齿合连接有第二齿环,所述第二齿环的外侧分别与加料柱和底环的内侧壁转动连接,所述底杆的顶端固定安装有第二电机。
9、优选的,所述炉体的底端内壁固定安装有主电机,所述主电机的输出端与坩埚的底端固定连接,所述坩埚的外侧与加热环的内侧壁转动连接,所述炉体的底端与炉盖的底端活动连接,所述炉筒的顶端滑动连接有提拉头。
10、优选的,所述单晶炉本体的外侧安装有开关面板,所述开关面板的表面分别固定安装有电动伸缩杆开关、第一电机开关、第二电机开关和主电机开关,所述电动伸缩杆、第一电机、第二电机和主电机分别通过有电动伸缩杆开关、第一电机开关、第二电机开关和主电机开关与外接电源电性连接。
11、本技术的有益效果:
12、1、通过设置的加料柱能够将单晶炉本体所需的原料添加至其内部,并通过真空座在外罩和加热柱顶端位置的往复滑动,使得真空座顶部位置的原料在进入加料柱内部时,通过真空座的作用将加料柱的加料位置以及挤出螺杆的储料位置进行分隔,并通过设置的抽取转杆在真空座内部的转动作用,使得真空座在将加料柱进行分隔后,对加料柱底端位置原料所含有的空气向外抽取,并同时通过挤出螺杆的作用加快原料经过加热环进行加热过渡进入到坩埚内部进行加料处理,提高了整体单晶炉的加料便捷性。
13、2、通过设置的过渡转环跟随其中一个锥形齿轮进行转动,从而能够使得其内侧的转动轴同样进行转动,在真空座移动至加热柱顶部位置进行分隔时,转动轴便能够将其插入过渡转杆的内部,从而通过转动轴带动过渡转杆进行转动,在真空座移动至外罩内部时,转动轴与过渡转杆脱离,从而使得真空座内部的抽取转杆停止转动,继而提高了整体加料操作的便捷性。
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1.一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,包括单晶炉本体(1),所述单晶炉本体(1)包括炉体(2)、炉盖(3)、坩埚(4)、加热环(5)、炉筒(6)、提拉头(7),所述炉体(2)的外侧四周固定安装有加料柱(8),四个所述加料柱(8)的底端一侧连通有挤出管道(9),所述挤出管道(9)的末端外侧与坩埚(4)的外侧转动连接,所述挤出管道(9)的外侧与炉体(2)的内侧壁穿插连接,所述加料柱(8)的顶端外侧安装有外罩(10),所述外罩(10)的内侧壁固定安装有电动伸缩杆(11),所述电动伸缩杆(11)的伸缩端固定安装有真空座(12),所述真空座(12)的外侧分别与加料柱(8)的顶端内侧和外罩(10)的内侧壁滑动连接,所述加料柱(8)的底端内侧转动连接有挤出螺杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述真空座(12)的内部分别转动连接有抽取转杆(121)和过渡转杆(122),所述抽取转杆(121)的顶端和过渡转杆(122)的一端均固定安装有第一锥形齿轮(123),所述过渡转杆(122)的另一端滑动连接有转动轴(124)。
3.根
4.根据权利要求1所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述加料柱(8)的顶端和底端外侧固定安装有顶环(14)和底环(15),其中一个所述顶环(14)和底环(15)的顶部内侧分别转动连接有第二顶杆(141)和底杆(151)。
5.根据权利要求4所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述第二顶杆(141)和第一顶杆(81)的顶端均固定安装有第一齿轮(142),所述第一齿轮(142)的外侧齿合连接有第一齿环(143),所述第一齿环(143)的外侧分别与加料柱(8)和顶环(14)的内侧壁转动连接,所述第二顶杆(141)的顶端固定安装有第一电机(144)。
6.根据权利要求5所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述底杆(151)和挤出螺杆(13)的底端均固定安装有第二齿轮(152),所述第二齿轮(152)的外侧齿合连接有第二齿环(153),所述第二齿环(153)的外侧分别与加料柱(8)和底环(15)的内侧壁转动连接,所述底杆(151)的顶端固定安装有第二电机(154)。
7.根据权利要求6所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述炉体(2)的底端内壁固定安装有主电机(16),所述主电机(16)的输出端与坩埚(4)的底端固定连接,所述坩埚(4)的外侧与加热环(5)的内侧壁转动连接,所述炉体(2)的底端与炉盖(3)的底端活动连接,所述炉筒(6)的顶端滑动连接有提拉头(7)。
8.根据权利要求7所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述炉体(2)的外侧安装有开关面板,所述开关面板的表面分别固定安装有电动伸缩杆开关、第一电机开关、第二电机开关和主电机开关,所述电动伸缩杆(11)、第一电机(144)、第二电机(154)和主电机(16)分别通过有电动伸缩杆开关、第一电机开关、第二电机开关和主电机开关与外接电源电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,包括单晶炉本体(1),所述单晶炉本体(1)包括炉体(2)、炉盖(3)、坩埚(4)、加热环(5)、炉筒(6)、提拉头(7),所述炉体(2)的外侧四周固定安装有加料柱(8),四个所述加料柱(8)的底端一侧连通有挤出管道(9),所述挤出管道(9)的末端外侧与坩埚(4)的外侧转动连接,所述挤出管道(9)的外侧与炉体(2)的内侧壁穿插连接,所述加料柱(8)的顶端外侧安装有外罩(10),所述外罩(10)的内侧壁固定安装有电动伸缩杆(11),所述电动伸缩杆(11)的伸缩端固定安装有真空座(12),所述真空座(12)的外侧分别与加料柱(8)的顶端内侧和外罩(10)的内侧壁滑动连接,所述加料柱(8)的底端内侧转动连接有挤出螺杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述真空座(12)的内部分别转动连接有抽取转杆(121)和过渡转杆(122),所述抽取转杆(121)的顶端和过渡转杆(122)的一端均固定安装有第一锥形齿轮(123),所述过渡转杆(122)的另一端滑动连接有转动轴(124)。
3.根据权利要求2所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述加料柱(8)的顶端内侧分别转动连接有第一顶杆(81)和过渡转环(82),所述第一顶杆(81)的底端和过渡转环(82)的另一端固定安装有第二锥形齿轮(83),其中一个所述第二锥形齿轮(83)的一端与转动轴(124)的另一端固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种具有自动加料功能单晶炉,其特征在于,所述加料柱(8)的顶端和底端外侧固定安装有顶环(14)和底环(15),其中一个所述顶环(14)...
【专利技术属性】
技术研发人员:董永见,黄金强,李小坡,
申请(专利权)人:宁晋县晶樱光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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