【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅芯炉配套设备，尤其涉及一种硅芯炉用籽晶夹头装置。
技术介绍
1、目前，光伏、半导体产业发展迅速，还原炉上用来附着沉积的硅芯需求量也在日益上涨。硅芯是将10至12英寸的硅棒切割成符合尺寸要求的细长芯棒，与还原炉上的电极相连，通过高电压击穿硅芯，通入sihcl3气体和氢气，进行还原反应，使si沉积在硅芯上。
2、已知的硅芯生产方法大致有两种，一种是将大直径硅棒切割成小直径的硅棒用以充当硅芯，此方法加工繁琐，时间、人工成本高、损耗大，除此以外，通过切割大直径硅棒的方法无法保证硅芯直径的均匀性。另一种方法是参考大直径硅棒的生长方法，同时生长多根硅芯，但目前此种方法一次生长硅芯数量较少，无法满足工业生产的大批量要求，但前景较好。因此，使用第二种方法制造硅芯，需要增加同批次生长硅芯的数量，并且要保证硅芯直径在工艺要求的误差范围内，为了达到这样的目的，需要一种新型的籽晶夹头装置。
技术实现思路
1、鉴于目前硅芯炉设备在大批量生长硅芯方面存在的上述不足，本技术提供一种硅芯炉用籽晶夹头装置，能够增加同批次生长硅芯的数量的效果。
2、为达到上述目的，本技术的实施例采用如下技术方案：
3、一种硅芯炉用籽晶夹头装置，包括吊接头、夹头盘和固定连接轴，吊接头下方与夹头盘连接，固定连接轴与夹头盘连接，所述夹头盘包括托盘、第一圈层和第二圈层；所述第一圈层包括第一电机、外圈主动齿轮和外圈齿轮盘；所述第二圈层包括第二电机、内圈主动齿轮和内圈齿轮盘；外圈齿轮盘下方连接
4、吊接头通过钨丝绳与升降机构连接，可以带动装置整体进行升降移动，便于将装置与籽晶吊装进硅芯炉中；夹头盘的第一圈层和第二圈层同心设置，可以分别一次性固定多个籽晶，可以在有限的空间内挂载给更多的籽晶，且第一电机、第二电机分别驱动外圈齿轮盘、内圈齿轮盘转动，使得位于同一圈层的籽晶所在区域的温场相同，在炉中的受热更加均匀。
5、依照本技术的一个方面，所述外圈齿轮盘包括偶数个外圈子齿轮；所述外圈子齿轮排列成圆形并两两咬合；所述外圈主动齿轮与某一外圈子齿轮咬合。
6、依照本技术的一个方面，所述内圈齿轮盘包括偶数个内圈子齿轮；所述内圈子齿轮排列成圆形并两两咬合；所述内圈主动齿轮与某一内圈子齿轮咬合。
7、依照本技术的一个方面，还包括电机支撑座；所述第一电机、第二电机通过电机支撑座与托盘固定连接。
8、依照本技术的一个方面，所述托盘下方设置有保温层，减少热量散失，节约能源。
9、依照本技术的一个方面，所述外圈子齿轮的数量大于20个。
10、依照本技术的一个方面，所述内圈子齿轮的数量大于20个。
11、本技术实施的优点：
12、通过同心设置的内外齿轮盘，每一齿轮盘上设置一定数量的两两咬合的子齿轮，每一子齿轮下方固定有一固定连接轴用于固定连接籽晶，使得在有限的空间内夹头装置能够挂载更多的籽晶，能够显著增加同批次硅芯生长的数量，提高了生产效率；每一齿轮盘的子齿轮首尾相连呈圆形排列并且两两咬合，保证同一圈层的籽晶所在区域的温场基本一致，也能有效保证生长得到的硅芯的直径误差率；每一齿轮盘通过一单独电机进行驱动，同一齿轮盘上的子齿轮转速相同，同时也提高了整个装置的容错率。
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1.一种硅芯炉用籽晶夹头装置，包括吊接头(1)、夹头盘和固定连接轴(4)，吊接头(1)下方与夹头盘连接，固定连接轴(4)与夹头盘连接，其特征在于，所述夹头盘包括托盘(21)、第一圈层和第二圈层；所述第一圈层包括第一电机(221)、外圈主动齿轮(222)和外圈齿轮盘(223)；所述第二圈层包括第二电机(231)、内圈主动齿轮(232)和内圈齿轮盘(233)；外圈齿轮盘(223)下方连接有若干固定连接轴(4)，内圈齿轮盘(233)下方连接有若干固定连接轴(4)；所述外圈主动齿轮(222)与第一电机(221)连接并与外圈齿轮盘(223)咬合；所述内圈主动齿轮(232)与第二电机(231)连接并与内圈齿轮盘(233)咬合；所述内圈齿轮盘(233)与外圈齿轮盘(223)同心设置，其中，内圈齿轮盘(233)位于内部；第一电机(221)驱动外圈主动齿轮(222)带动外圈齿轮盘(223)转动；第二电机(231)驱动内圈主动齿轮(232)带动内圈齿轮盘(233)转动。
2.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，所述外圈齿轮盘(223)包括偶数个外圈子齿轮(224)；所述
3.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，所述内圈齿轮盘(233)包括偶数个内圈子齿轮(234)；所述内圈子齿轮(234)排列成圆形并两两咬合；所述内圈主动齿轮(232)与某一内圈子齿轮(234)咬合。
4.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，还包括电机支撑座(211)；所述第一电机(221)、第二电机(231)通过电机支撑座(211)与托盘(21)固定连接。
5.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，所述托盘(21)下方设置有保温层(212)。
6.根据权利要求2所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，所述外圈子齿轮(224)的数量大于20个。
7.根据权利要求3所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在于，所述内圈子齿轮(234)的数量大于20个。
...【技术特征摘要】
1.一种硅芯炉用籽晶夹头装置，包括吊接头(1)、夹头盘和固定连接轴(4)，吊接头(1)下方与夹头盘连接，固定连接轴(4)与夹头盘连接，其特征在于，所述夹头盘包括托盘(21)、第一圈层和第二圈层；所述第一圈层包括第一电机(221)、外圈主动齿轮(222)和外圈齿轮盘(223)；所述第二圈层包括第二电机(231)、内圈主动齿轮(232)和内圈齿轮盘(233)；外圈齿轮盘(223)下方连接有若干固定连接轴(4)，内圈齿轮盘(233)下方连接有若干固定连接轴(4)；所述外圈主动齿轮(222)与第一电机(221)连接并与外圈齿轮盘(223)咬合；所述内圈主动齿轮(232)与第二电机(231)连接并与内圈齿轮盘(233)咬合；所述内圈齿轮盘(233)与外圈齿轮盘(223)同心设置，其中，内圈齿轮盘(233)位于内部；第一电机(221)驱动外圈主动齿轮(222)带动外圈齿轮盘(223)转动；第二电机(231)驱动内圈主动齿轮(232)带动内圈齿轮盘(233)转动。
2.根据权利要求1所述的硅芯炉用籽晶夹头装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李广敏，吴海龙，姚伟，
申请(专利权)人：上海韵申新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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