本申请涉及充装设备的技术领域，具体涉及一种前驱体充装系统，包括n个充装组件，n≥1，每一充装组件包括分别通断连接的吹扫主管和吹扫支管、真空主管和真空支管、充装主管和充装支管，吹扫支管、真空支管、充装支管的自由端汇集构成第一接口，第一接口...

本申请涉及硅烷反应精馏领域，具体公开了一种硅烷反应精馏工艺及其系统

本申请涉及新能源材料制备技术领域，具体公开了一种

本申请公开了一种还原炉底盘激光自动清洗机，涉及多晶硅生产领域

本申请涉及锂电池硅碳负极材料技术领域，更具体地说，它涉及一种纳米硅碳负极材料生产装置以及硅碳负极材料的生产方法。一种纳米硅碳负极材料生产装置，包括沉积炉，沉积炉内设置有升华室、沉积室和收尘室，升华室、收尘室分别与沉积室连通，炉体内设置有...

本发明公开了一种高纯液体硅烷储存系统，涉及硅烷储存技术领域，包括储罐、BOG冷凝器、进料管、蒸发气进气管、降液管、安全阀，液体硅烷从进料管进入储罐内，当储罐内产生硅烷蒸发气时，硅烷蒸发气从蒸发气进气管进入BOG冷凝器被冷凝，随后从降液管...

本申请涉及多晶硅生产技术领域，具体公开了一种硅烷法生产高纯度多晶硅用反应器及其工艺。一种硅烷法生产高纯度多晶硅用反应器，包括反应器本体，反应器本体上设置有进气管和出气管，反应器本体周侧设置有对反应器本体进行冷却的第一冷却组件，反应器本体...

本实用新型公开了一种硒化锌制备设备，包括气相沉积炉，气相沉积炉包括炉体、上炉盖和下炉盖，上炉盖、炉体和下炉盖围设形成炉腔，炉腔内设有坩埚、沉积室、保温层，气相沉积炉连接加热系统、传动系统、抽气系统、进气系统和冷却水循环系统，加热系统用于...

本实用新型公开了一种全自动硅芯生长设备，涉及光伏行业中的硅芯生长技术领域，包括炉体，所述炉体上设有提拉组件，所述炉体内自上而下依次设置有籽晶夹头组件、坩埚、热场部件，所述籽晶夹头组件包括籽晶托盘、籽晶夹头，所述提拉组件与籽晶托盘相连，提...

本实用新型公开了一种还原炉底盘激光清洗机，包括移动系统、激光清洁系统和防爆收尘系统；移动系统包括安装底盘、连接板和车轮；激光清洁系统包括主机、多轴机械手和激光清洁头；防爆收尘系统包括防爆除尘器、收尘口和收尘软管；主机和防爆收尘器安装在安...

本发明公开了一种氧化镓晶体生长装置，包括晶体生长炉，所述晶体生长炉设有中空反应腔体，所述反应腔体内设有坩埚和加热系统，所述晶体生长炉连接传动系统，所述传动系统包括籽晶提拉装置、加热系统升降装置，所述加热系统升降装置与所述加热系统连接，所...

本实用新型提供了一种储能设备，所述储能设备主体为蓄热炉，所述储能设备包括炉体、蓄热砖、保温砖、保温棉，所述炉体包括炉顶、炉体底盘、第一炉体侧壁、第二炉体侧壁、第三炉体侧壁以及第四炉体侧壁，所述保温砖设置于所述炉体底盘上，所述保温棉设置于...

本实用新型公开了一种还原炉测温仪的快速拆装结构，包括炉体，所述炉体一侧设置有视镜，所述视镜一侧设有测温仪组件，所述视镜一侧固定有安装支架，所述安装支架上连接有快开底座，所述快开底座上连接有快拆锁紧件，通过快拆锁紧件将测温仪组件固定于快开...

本实用新型提供了一种法兰盖滑动机构，所述法兰盖设置于还原炉钟罩上法兰口上方，还包括滑轨，所述滑轨通过支撑架与还原炉炉顶相连接，且所述滑轨上设置有滑槽，所述法兰盖两端分别设有第一耳板以及第二耳板，所述第一耳板、第二耳板均连接有支撑轴，所述...

本实用新型提供了一种磷化铟炉体电动翻转装置，包括炉体、炉架和电动翻转系统，所述炉体安装于炉架上，所述电动翻转系统固定于炉架一侧，电动翻转系统包括翻转机构、减速电机、伺服电机、限位板、行程开关以及行程开关撞板，所述减速电机内部设置有第一传...

本实用新型公开了一种新型单晶炉用排气管道系统，包括与单晶炉底连接的转接管，还包括排气管道和抽真空装置，抽真空装置包括软管和干泵，软管的一端与排气管道固定连接，另一端与干泵固定连接，排气管道与转接管连接，排气管道上设有漏流检测装置；单晶炉...

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉底盘的防污染结构，包括炉体、底盘、支座、升降装置、底盘螺栓、地面、支撑环板、隔离内筒，所述炉体安装在底盘上，所述底盘安装在支座上，所述支座设于地面上，所述升降装置设于支座内，所述底盘螺栓一端连于升降装置上...

本实用新型提供了一种单晶炉热场用水冷套升降装置，所述水冷套设置于单晶炉热场中，所述升降装置包括丝杠升降机、直线导轨、安装基座、升降平台以及传动系统，所述安装基座设于水冷套两侧，所述丝杠升降机、直线导轨和升降平台设于安装基座上，所述传动系...

本实用新型提供了一种新型提拉旋转轴密封结构，包括提拉旋转轴与轴密封结构，所述轴密封结构包括轴承座、安装座、上端盖和下端盖，所述安装座同轴连接在轴承座内，所述上端盖设置在安装座上端，所述下端盖设置在安装座下端，且与轴承座连接，所述安装座内...

本实用新型公开了一种硒加料及加热装置，包括熔硒罐，所述熔硒罐为一中空筒体，所述筒体上设有进料装置、出料口，所述筒体的外壁上安装电磁感应加热线圈，所述电磁感应加热线圈与所述筒体壁之间设有绝热层。本实用新型提供一种硒加料及加热装置，不但大大...