下载波纹套密封形线圈升降机构的技术资料

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本技术涉及晶体生长炉技术领域。波纹套密封形线圈升降机构,包括一线圈支撑组件以及驱动线圈组件升降的升降驱动机构,线圈支撑组件包括线圈组件、支撑杆以及支撑板,支撑板设置在密封炉腔的下方,支撑板与线圈组件之间通过支撑杆相连;支撑杆的外围套设有第一...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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