【技术实现步骤摘要】
本技术涉及氧化镓晶体生长设备及其周边配套设施，特别是涉及一种氧化镓籽晶夹持机构及晶体生长装置。
技术介绍
1、氧化镓是一种无机化合物，别名三氧化二镓，是一种宽禁带半导体，其导电性能和发光特性长期以来一直引起人们的注意。氧化镓是一种透明的氧化物半导体材料，在光电子器件方面有广阔的应用前景。
2、直拉法是氧化镓晶体生长的常见方法，晶体氧化镓热导率仅为碳化硅的十分之一，是硅的五分之一，在氧化镓晶体生长过程中，现有的籽晶夹头因氧化镓晶体热导率差，在直拉法试温稳温步骤中，因温度过高氧化镓籽晶很容易被熔化，造成籽晶使用寿命短。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种氧化镓籽晶夹持机构及晶体生长装置，以解决上述现有技术存在的问题，延长氧化镓籽晶使用寿命，提高晶体生长装置的工作可靠性。
2、为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种氧化镓籽晶夹持机构，包括：
3、铱杆；
4、夹紧组件，所述夹紧组件包括夹头、导热元件以及籽晶销，所述夹头的一端连接所...
【技术保护点】
1.一种氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述夹头为圆柱状结构，所述散热元件的数量为多个，所述散热元件绕所述夹头的轴线周向均布。
3.根据权利要求2所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述散热元件为薄板状结构，所述散热元件的板面平行于所述夹头的轴线设置。
4.根据权利要求1-3任一项所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述导热元件为与所述氧化镓籽晶外部轮廓相适配的板状结构，所述导热元件的数量为多块，所述导热元件围绕所述氧化镓籽晶设置，所述导热元件的长度较所述氧化镓籽晶
<...【技术特征摘要】
1.一种氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述夹头为圆柱状结构，所述散热元件的数量为多个，所述散热元件绕所述夹头的轴线周向均布。
3.根据权利要求2所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述散热元件为薄板状结构，所述散热元件的板面平行于所述夹头的轴线设置。
4.根据权利要求1-3任一项所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述导热元件为与所述氧化镓籽晶外部轮廓相适配的板状结构，所述导热元件的数量为多块，所述导热元件围绕所述氧化镓籽晶设置，所述导热元件的长度较所述氧化镓籽晶的长度短。
5.根据权利要求4所述的氧化镓籽晶夹持机构，其特征在于：所述氧化镓籽晶为长方体，所述导热元件为平板结构；所述导热元件的数量为两块，两块所述导热元件以所述氧化镓籽晶的中线为轴线对称设置。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘进，
申请(专利权)人：杭州镓仁半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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