【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅炉设备领域，具体涉及一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构。
技术介绍
1、在单晶硅生长炉的生产过程中，原有电极是固定在炉底盘上无法升降，而坩埚位置会随着生产的过程逐渐上升，导致热场过内部受热不均匀，从而影响产品质量，带来一定的经济损失。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，以解决上述至少一种技术问题。
2、本专利技术的技术方案是：一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；
3、所述基板的左前侧、右后侧分别安装有第一主电极和第二主电极，所述基板的右前侧和左后侧分别安装有第一辅支撑和第二辅支撑，所述第一主电极、第二主电极、第一辅支撑和第二辅支撑的外部均安装有焊接波纹管...
【技术保护点】
1.一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述四根导向柱底部设置有安装架，安装架两端底部分别设有两根横梁。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述安装架的左前方安装有换向器，所述换向器向前依次连接离合...
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，其特征在于，所述升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，所述四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，所述四根导向柱中间设置有基板，所述基板通过所述直线轴承沿着导向柱上下运动，所述导向柱位于所述基板的四个角部；
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述四根导向柱底部设置有安装架，安装架两端底部分别设有两根横梁。
3.根据权利要求2所述的一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，其特征在于，所述安装架的左前方安装有换向器，所述换向器向前依次连接离合减速器、转角减速器以及伺服马达，所述换向器将伺服马达的动力一侧传动至第一传动轴、第一升降机，所述换向器将伺服马达的动力另一侧传动至第二传动轴、转角换向器、...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶煜，赖章田，唐明，陈士利，夏孝平，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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