温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种用于单晶硅生长炉的电极升降机构，包括升降机构，升降机构包括固定在单晶硅生长炉炉底盘和机架上的四根导向柱，四根导向柱上分别连接有可滑动的直线轴承，四根导向柱中间设置有基板，基板通过直线轴承沿着导向柱上下运动，导向柱位于基板的四个...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。