【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏工艺
,特别是涉及一种正压冷却工艺。
技术介绍
在现有技术中,对单晶硅棒进行冷却时,采用如下的冷却方式如图I所示,炉体I连接真空过滤罐2,真空过滤罐2与真空泵3相连接。在冷却时,向炉体I内不断的冲入氩气,同时,真空泵3正果真空过滤罐2将炉体I内不断的抽至真空,气体从真空泵3排气。这样的工作方法具有以下缺点首先,真空泵始终处于工作状态,使设备的折旧率增加,降低设备的使用寿命;其次,使用氩气作为冷却气体,氩气的成本较高,也增加了整体的使用成本。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种正压冷却工艺。为达到上述目的,本专利技术采用的技术方案是 一种正压冷却工艺,加工时,单晶硅棒放置在炉体内,向炉体内部不间断的充入氩气,炉体内的产品处于高温半熔体状态,冷却时,按以下步骤进行 (1)、停炉I小时,关闭氩气向炉体内充入氮气,冷却I小时; (2)、关闭炉体主室球阀、停止炉体主室泵,打开与炉体相连接的真空过滤罐的阀柱进行放气,使炉体内的压力达到常压,同时继续向炉体内充入氮气,使炉体内始终处于正压环境下,接近大气压时,打开炉体主室球阀,使真空过滤罐进行自 ...
【技术保护点】
一种正压冷却工艺,加工时,单晶硅棒放置在炉体内,向炉体内部不间断的充入氩气,炉体内的产品处于高温半熔体状态,其特征在于:冷却时,按以下步骤进行:(1)、停炉1小时,关闭氩气向炉体内充入氮气,冷却1小时;(2)、关闭炉体主室球阀、停止炉体主室泵,打开与炉体相连接的真空过滤罐的阀柱进行放气,使炉体内的压力达到常压,同时继续向炉体内充入氮气,使炉体内始终处于正压环境下,接近大气压时,打开炉体主室球阀,使真空过滤罐进行自然放气;(3)、4小时后,关闭氮气,完成冷却。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成,戚建静,
申请(专利权)人:苏州东泰太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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