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本发明涉及一种拉制1.6米单晶棒工艺,将硅熔融液放置在石英坩埚,并使石英坩埚以规定的转速进行旋转,将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段:4段30长度段温度-9-1度,单晶棒拉速1.35-1.27,埚升速0.136-0.131;1段60长...该专利属于苏州东泰太阳能科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州东泰太阳能科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种拉制1.6米单晶棒工艺,将硅熔融液放置在石英坩埚,并使石英坩埚以规定的转速进行旋转,将待拉制1.6米的单晶棒分成若干个长度段:4段30长度段温度-9-1度,单晶棒拉速1.35-1.27,埚升速0.136-0.131;1段60长...