【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对半导体制造中所使用的各种液体材料进行气化用的液体材料气化>J-U ρ α装直。
技术介绍
以往，已知有一种即使是容易引起热分解的液体材料也能在使其不热分解的状态下可靠地进行气化的液体材料气化装置。具体来讲，这种液体材料气化装置包括由具备流量控制功能的控制阀构成的气液混合部，该控制阀被供给液体材料和运载气体，控制液体材料的流量并使液体材料与运载气体混合；以及与该气液混合部分开独立设置的气化部，该气化部通过将经由管道导入的来自气液混合部的气液混合体从喷嘴部放出后进行减压而使液体材料气化并利用所述运载气体将该气化生成的气体导出；以及连接这些气液混合部和气化部的管道等(例如、参照专利文献I)。专利文献I :日本专利特开2003 - 163168号公报专利技术的公开专利技术所要解决的技术问题然而，在以往的结构中，存在的问题是若对将高沸点溶质溶解于低沸点材料溶剂而成的液体材料进行气化，则会发生在管道中仅低沸点材料溶剂气化、高沸点溶质成为残渣而将管道堵塞等现象。本专利技术就是为了解决上述那样的技术问题，其主要目的在于提供一种优质的液体材料气化装置，即使是...
【技术保护点】
一种液体材料气化装置，其特征在于，包括：气液混合部，其混合液体材料和运载气体生成气液混合体；加热型气化部，其对来自所述气液混合部的气液混合体进行气化、利用所述运载气体将该气化生成的气体向外部导出，所述气化部构成为在其通道内配置有一个或多个扭转成螺旋形状的平板。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西川一朗，河野武志，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：
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